판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9056492

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion은 반도체 제조업체가 MEMS 프로세싱과 미세 그라인딩을 효과적으로 적용하여 MEMS 컴포넌트를위한 매우 평평하고 손상이없는 표면을 생성 할 수 있도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. AMAT Reflexion은 5 인치 및 6 인치 카바이드 랩핑 플레이트, 다이아몬드 패드 및 슬러리 트레이를 휘두르는 자동 6 축 로봇으로 구성됩니다. 자동 로봇 암 (Automated Robot arm) 은 미세하게 균형 잡힌 다축 프로그램에서 연삭 도구를 이동하여 다양한 재료에 걸쳐 뛰어난 표면 평면도 (surface flatness) 와 균일 한 두께를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Reflexion에는 또한 PMN (Precision Monitoring and Navigation) 기술이 적용되어 로봇이 연삭 표면의 높이, 각도, 거리 및 기타 매개변수를 정확하게 측정하고 필요한 사양에 따라 적절한 양의 연마 미디어를 분배할 수 있습니다. 또한, 최첨단 클로즈드 루프 제어 시스템 (closed-loop control system) 은 최고 품질의 그라인드가 생성되도록 프로세스를 지속적으로 모니터링합니다. 이 장치 에는 또한 "그라인딩 '과정 중 에 들어오는 물질 을 검사 하고 불완전성 이나 결함 을 평가 하는" 비전 머신' 이 장착 되어 있다. 반사 (Reflexion) 에는 또한 필터리스 (filterless) 디자인의 더스트 컬렉터 (Dust Collector) 가 장착되어 가공된 웨이퍼에 오염되지 않고 깨끗한 웨이퍼 처리 환경이 가능합니다. 이 도구에는 또한 3 축 입자 카운터 (Particulate Counter) 가 있으며, 이는 임베디드 연골 알갱이의 입자를 측정하여 오염을 방지합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion은 또한 손쉬운 운영 제어, 데이터 로깅 및 실시간 모니터링을 지원하는 터치 스크린 인터페이스를 제공합니다. AMAT Reflexion (AMAT Reflexion) 은 연삭 도구를 원활하게 작동하고 효율적으로 사용할 수 있도록 소프트웨어 프로그램으로 스케줄링되고 최적화되었습니다. 자산은 생산 라인에서 다른 시스템과 쉽게 통합되어, 프로세스를 간소화하고, 다운 스트림 (downstream) 장비를 마모나 마모로 인한 오염으로부터 보호합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Reflexion은 MEMS 제조에 사용되는 다양한 공통 재료를 처리 할 수 있으며 다양한 연마 속도 (초당 최대 0.5 미크론) 를 지원합니다. 반사 (Reflexion) 는 높은 수준의 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 반도체 제조업체는 MEMS 응용 프로그램을위한 완벽한 표면을 갖춘 부품을 생산할 수 있습니다. 반도체 업계에서 사용하기에 이상적인 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 의 고급 모델이다.