판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Semes #9241951

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Semes는 반도체 제조업체의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 리플렉션 (Reflexion) 의 고성능 작업을 통해 웨이퍼 제작 중에 더 나은 수율을 창출하고 생산 웨이퍼 얇음, 랩핑, 연마, chip-on-wafer 응용 프로그램 등의 요구를 성공적으로 해결할 수 있습니다. Reflexion의 시스템 구성 요소는 통합 솔루션을 제공하여 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 주요 구성 요소로는 polisher, FEL (프런트 엔드 로딩) 전송 장치, 턴테이블 및 SEMI-flex 래퍼 (옵션) 가 있습니다. 폴리셔는 자동화, 정밀, 반복 가능한 웨이퍼 처리에 FEL과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 특허를받은 비 접촉 표면 감지 기술 (non-contact surface sensing technology) 을 통해 연마제 및 제품 표면을 지속적으로 가깝게 유지합니다. 이렇게 하면 생성되는 서피스 힘의 양이 줄어들고 표면 균일성이 향상됩니다. [FEL] 을 사용하면 최종 사용자의 프로세스 제어를 통해 웨이퍼가 반복 가능한 방식으로 로드되도록 할 수 있습니다. 반사 (Reflexion) 에는 머신에서 제거 할 필요없이 웨이퍼 양면을 처리 할 수있는 턴테이블도 포함되어 있습니다. 이것은 웨이퍼 평탄성을 보장하고 개선 된 마이크로 플랫 균일성을 제공합니다. 마지막으로, SEMI-flex 래퍼 (옵션) 를 사용하면 동일한 연마 주기에서 다중 기판 웨이퍼를 연마하여 처리량을 늘리고 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 반사는 안전과 유지 관리를 염두에두고 설계되었습니다. 비정상적인 압력이나 온도의 경우 자동 정지 (automatic stop), 액체 오버플로 (liquid overflow) 경고 경보를 포함한 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 자가 진단 도구 (Self Diagnostic Tool) 와 온보드 서비스 모니터를 사용하여 유지 보수 문제를 파악할 수 있습니다. 요약하자면, AMAT Reflexion Semes는 다재다능하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 수율을 향상시키고 처리 시간을 단축하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 통합 구성 요소는 높은 수준의 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 제공하며, 최고 수준의 안전 및 유지 관리를 보장합니다.