판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9023774
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AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK는 평평하고 광학적으로 완벽한 실리콘 웨이퍼 생산을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 두께가 8 ~ 125m인 고품질 씬 실리콘 웨이퍼의 완전한 제작에 사용됩니다. 이 장치는 고정밀 Direct Drive 모터 머신, 일치하는 Flexible Coupling and Synchronization Units를 사용한 모션 제어, 고성능 Active Fluid Cooling Tool을 포함한 일련의 고급 기술을 기반으로합니다. Direct Drive 모터 자산은 연삭/랩핑 프로세스를 정확하게 제어하는 반면, Flexible Coupling 및 Synchronization Units는 연삭/랩핑 축 간의 정확한 동작 동기화를 제공합니다. 액티브 유체 냉각 모델 (Active Fluid Cooling Model) 은 전체 장비의 안정적인 냉각 소스를 제공합니다. 또한 AMAT Reflexion LK는 모듈식 설계를 통해 다양한 유형의 그라인딩/랩핑 프로세스를 전환할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 단면 그라인딩/랩핑, 양면 그라인딩/랩핑 등 다양한 구성을 수용할 수 있습니다. 이 장치에는 처리 된 웨이퍼의 정밀한 평면도 (flatness and smothness) 를 제공하도록 설계된 고속 평면 연마 플래튼 (flating platen) 이 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Reflexion LK는 효율성, 안정성 및 안전성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 이 제품은 다중 장애 안전 장치 (Multiple-Failure Safety Machine), 소프트웨어 기반 모니터링 도구, 자산 보호 및 사고 방지를 위한 다중 연동 (Multiple Interlock) 등 정교한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 안전 기능은 운영자 (operator) 와 모델 (model) 을 잠재적 피해로부터 보호하는 데 도움이됩니다. 반사 LK (Reflexion LK) 는 실리콘 웨이퍼 처리에 이상적인 도구이며 MEMS, LED, IC 프로세스 관련 기술 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 결점 없이 평평하고 광학적으로 완벽한 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 고정밀도, 초감각적 실리콘 (silicon) 프로세스에 적합합니다. 또한 생산성과 정확성을 극대화하여 매우 원활한 평탄성을 제공하도록 설계되었습니다.
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