판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK #9283335
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판매
ID: 9283335
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Dielectric CMP system, 12"
Process: SIF, BPSG, Poly buff CMP
AMAT Reflexion LK:
(4) Heads
(3) Platen polishing systems
Dry in and dry out
Polisher skins
Gap wash
Load cup wafer exchanger
NOVA 3090 Next ready
(2) Monitors
Light tower
FOUP
WIP Delivery type
OHT Light curtain
E84 PI O Sensors and cables
E99 Carrier ID
Docked E99 reading capability
Docking flange shield
Frame configuration
Load ports
Load port operator interface
Operator access switch
Platen type
High pressure rinse flow meter
Rinse arms
Platen pad conditioner
Flow meter
Polishing technology
Polishing head
Cross break
Pad wafer loss sensor
Inter platen clean
Upper pneumatics assembly
ISRM Laser key switch
Slurry delivery system
Power cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Encoder cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
AMAT는 다양한 어플리케이션에 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK 시스템은 생산 수준 프로세스에 이상적인 다양한 이점을 제공합니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수있는 견고한 플랫폼이 있으며, 최대 8 개의 연삭/랩핑/연마 헤드가 있습니다. 이 구성은 높은 처리량과 다용도 (다용도) 를 제공하므로 다양한 애플리케이션을 수용할 수 있습니다. 또한, AMAT Reflexion LK에는 정밀한 결과를 보장하는 고급 닫힌 루프 프로세스 제어 기술이 장착되어 있습니다. 이 정밀도는 기계의 가변 속도 AC 스핀들 모터 (Variable-Speed AC Spindle motor) 에 의해 추가로 보완되며, 이는 균일 한 재료 마모로 제어 된 재료 제거 속도를 허용합니다. APPLIED MATERIALS REFLEXION LK Reflexion LK에는 다양한 클램핑 메커니즘이 포함되어 있어 다양한 가공소재에 적합합니다. 여기에는 평면 기판을 수용하기위한 특허를받은 에어 와프트 전송 클램프 (air-waft transfer clamp) 와 직경 200mm (round wafers) 의 인기있는 5 포인트 클램프 (clamp) 가 포함됩니다. Reflexion LK의 다른 기능으로는 헤드 구성, 업그레이드 가능성, 서비스 용이성 등이 용이한 혁신적인 모듈식 기어박스 (Modular Gearbox) 가 있습니다. 이 기계는 또한 통합 기계 상태 모니터링 (integrated machine health monitoring) 및 진단 (diagnostics) 을 갖추고 높은 수준의 운영자 가시성을 제공합니다. 그리고 반사 (Reflexion) 의 설계를 통해 자동 미립자 청소 및 화학/가스 청소를 포함한 다양한 청소 프로세스가 가능합니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK는 반복성과 정밀도로 뛰어난 결과를 제공하도록 설계된 강력한 성능을 제공합니다. 이 도구의 첨단 프로그래밍, 견고한 디자인, 다양한 클램핑 (clamping) 옵션을 통해 다양한 프로세스에 적합합니다. 고급 프로세스 제어 및 통합 진단/유지 관리 기능을 갖춘 AMAT Reflexion LK는 다양한 와퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다.
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