판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime #293808181
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ID: 293808181
빈티지: 2017
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System
Hard Disk Drive (HDD)
No polishing head
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime은 일반 반도체 제작에서 MEMS 프로토 타입에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용되는 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 (high resolution) 와 저면도 (low surface roughness) 를 통해 그라인드, 랩 및 폴링 웨이퍼에 뛰어난 성능, 정확성 및 유연성을 제공합니다. AMAT Reflexion LK Prime은 고급 기술을 활용하여 가장 엄격한 프로세스 요구사항을 충족하기 위해 동시에 그라인딩, 랩, 파일 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. R&D 및 생산에 이상적인 APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime에는 연삭 중 웨이퍼의 절이나 뒤틀린 가장자리를 제어하기 위해 IR ALD 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 고유 한 암 (arm) 기반, 강성 (rigid) 및 동적 연삭 플랫폼을 사용하여 최대 200mm 너비의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 매우 미세한 연마가 가능하도록 설계된 2 개의 별도의 연삭 메커니즘을 구현합니다. 또한, 다운 스핀들 압력 센서 (down spindle pressure sensor) 를 사용하여 웨이퍼 표면에 적용되는 연삭 힘에 대한 안정성과 피드백을 제공합니다. 반사 LK 프라임 (Reflexion LK Prime) 은 낮은 표면 거칠기 값과 탁월한 반복 능력을 갖춘 뛰어난 에지 품질을 달성 할 수 있습니다. 3 축 로봇, 고급 터치 감지 도구 (Advanced Touch Sensing Tool), 전용 머신 비전 에셋 (Machine Vision Asset) 과 함께 모델은 작업 처리를 스트리밍하고 최적의 속도로 올바른 위치를 자동으로 설정합니다. 공정 제어 소프트웨어 (process control software) 와 함께 매우 민감한 압력 조정 및 냉각수 분배를 통해 탁월한 프로세스 제어가 이루어집니다. 고급 광학 곡률 측정 장비는 광학적으로 평평한 표면이 달성되는 결과 LK 프라임 (LK Prime) 작업 설정을 위해 정확한 웨이퍼 보우 (wafer bow) 측정을 보장합니다. 또한, 시스템은 통합 웨이퍼 곡률 측정 기술을 사용하여 연삭 과정에서 웨이퍼 곡률 (wafer curvature) 을 측정하여 재료 제거를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime은 하향식 웨이퍼 레벨 기반 접근 방식을 사용하여 정확한 프로세스 제어를 지원합니다. AMAT Reflexion LK Prime 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치는 우수한 평면 화, 서피스 마무리, 에지 품질이 필요한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템은 영업 후 폭넓은 지원을 제공하는 강력한 서비스 팀 (Service Team) 의 지원을 받아 이 툴이 지속적인 성능을 제공하고 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 합니다 (영문).
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