판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #9292971

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
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ID: 9292971
Dielectric CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide 장비는 고급 기술과 사용자 친화적 인 소프트웨어를 결합하여 웨이퍼 기판을 빠르고 정확하며 비용 효율적인 생산하는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 시스템입니다. 이 장치는 우수한 전기 및 열 특성을 가진 높은 종횡비, 고균일 웨이퍼 및 초박형 레이어를 생성합니다. AMAT Reflexion LK Oxide 기계는 코팅 헤드, 랩핑/연마 헤드 및 연삭 헤드의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 코팅 헤드에는 비정질 실리콘 질화물, 이산화실리콘 및 기타 산화물 층의 정확한 증착을위한 통합 진공실이 포함되어 있습니다. 랩핑/연마 헤드는 여러 기질의 균일 한 연마를 제공하기 위해 설계되었습니다. 또한 2 구역 홀더를 통합하여 여러 웨이퍼 기판을 동시에 연마 할 수 있습니다. 마지막으로, 연삭 헤드는 웨이퍼 기판을 효율적으로 연마하기 위해 연마 디스크를 통합합니다. 이 디스크는 웨이퍼 표면에서 산화 규소 및 기타 레이어를 제거 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide 도구는 매우 얇은 레이어로 웨이퍼를 생산하도록 특별히 설계되었습니다. 1nm/cm2보다 균일하게 11nm의 초박형 레이어를 생성 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 공격적인 연삭 또는 연마 없이도 정밀 평면 화 (planarization) 를 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 웨이퍼 표면의 손상을 방지하고 일관된 웨이퍼 품질을 보장합니다. 정밀 웨이퍼 코팅을 보장하기 위해 Reflexion LK Oxide 모델은 고급 Software Co-Analysis 기술을 사용합니다. 이 스캔은 제품 개발을 가속화하고 웨이퍼에서 웨이퍼로의 일관성을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide 장비는 까다로운 생산 어플리케이션에 적합합니다. 첨단 기술, 사용자 친화적 인 소프트웨어, 정확한 평면 (planarization) 을 통해 복잡한 웨이퍼 기판 생산을 위한 완벽한 솔루션이 될 수 있습니다. 효율성 향상, 제품 품질 향상, 생산비 절감, 가치 극대화, 비용 절감 등의 효과를 제공합니다.
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