판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #293659314

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 규소, 갈륨 비소 (gallium arsenide) 및 기타 기질의 대량 제조에 사용되는이 시스템은 반도체 산업의 평면 화 요구에 적합합니다. LK 산화물 (LK Oxide) 의 구조 성분은 산업용 금속과 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 합금 성분으로 만들어져 부식 및 녹에 대한 뛰어난 내성을 제공합니다. 이 장비는 속도와 정밀도를 갖춘 YAG 레이저 빔을 생산하면서 최대 온도 600 ° C (C) 에서 작동 할 수 있습니다. 광선의 강도는 빔 전압 (beam voltage) 과 전류 (current) 의 조정을 통해 교정 및 조절됩니다. LK Oxide는 구조 메이크업 외에도 4 개의 연삭 헤드와 2 개의 연마/랩핑 플레이트를 포함합니다. 최대 12 인치 직경의 랩핑 및 연마 판을 지원할 수 있습니다. 판을 회전시킬 수있는 능력으로, 단위는 한 패스 (pass) 로 평평하고 균일하게 연마 된 기판을 생성 할 수 있습니다. 그라인더 헤드 (grinder head) 에는 사전 설정된 다이아몬드 그릿 (diamond grits) 이 있으며, 이는 지정된 그릿으로 조정되어 다양한 재료에 대한 올바른 마무리를 만들 수 있습니다. LK Oxide는 로봇 암 기술을 사용하여 웨이퍼를 스테이션에서 스테이션으로 전송합니다. 이렇게 하면 최소한의 웨이퍼 파손을 통해 정확하고 안정적인 기계로 전송 및 전환을 가공할 수 있습니다. 또한, 검역소는 그 과정에서 추가 오염 및 분해로부터 웨이퍼를 보호합니다. 전체 기계는 RCS (Reflexion Control Tool) 라는 독점 소프트웨어에 의해 제어됩니다. RCS는 여러 알고리즘을 사용하여 레이저 빔 (laser beam) 의 강도를 보정하고 제어하여 최적의 결과를 얻습니다. 또한 사용자 정의 프로그램을 저장하여 이전 설정과 매개변수를 쉽게 불러올 수 있습니다 (영문). 이 APPLIED MATERIALS LK Oxide는 반도체 산업의 고급 평면 화 요구를 위해 설계된 효율적이고 신뢰할 수있는 자산입니다. 업계 수준의 구성 요소와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 웨이퍼 파손 또는 오염의 위험을 최소화하면서 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다.