판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK FI #293822113

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK는 재료 연구 및 생산을위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 특히 R&D 및 석판화, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 및 이기종 광전자 장치의 생산을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 반도체 등급 습식 분쇄기 (grinder grade grinder and polisher) 를 가지고 있으며 예측 가능한 균일성을 갖춘 정확한 표면 거칠기를 제공합니다. 미크론에서 표면을 분쇄하고, 표면을 1um까지 랩핑하고, 표면을 0.1um까지 연마 할 수 있습니다. 높이 조절 가능한 마운팅 베이스는 배치 (batch) 작업에 유연성을 제공하며, 로봇 통합 설계는 자동화를 단순화하고 수동으로 웨이퍼를 처리하지 않습니다. 통합 프로세스 온도 컨트롤러 (Integrated Process Temperature Controller) 를 사용하면 0.1 ° C 이내에서 웨이퍼 온도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이는 정밀도와 처리량을 향상시키는 데 중요합니다. 자동 균형 기능 (auto balance function) 은 처리 중 기계 진동을 감소시키는 반면, 독점 조작 도구는 웨이퍼의 정확한 위치와 처리를 보장합니다. AMAT Reflexion LK는 3 차원 (3D) 비 접촉 표면 특성, 자동 결함 감지 및 격리, 라인 에지 거친 측정 등 고급 도량형 기능을 갖추고 있습니다. 통합 챔버 매핑 장치 (integrated chamber mapping unit) 를 통해 사용자는 웨이퍼 로트 번호, 처리 날짜 및 시퀀스, 처리 온도 진화를 정확하게 추적 할 수 있습니다. 이 장비에는 먼지 누적, 마모, 안전하지 않은 상태로부터 보호하기 위해 자동 도어 (door) 및 종료 시스템 (shutdown system) 과 같은 최첨단 안전 기능이 장착되어 있습니다. 자동 머신 클리닝도 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Reflexion LK는 다양한 재료 연구 및 생산 작업에 적합한 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 온도, 표면 균일성, 프로세스 자동화, 도량형 및 안전에 대한 세밀한 제어를 통해 고밀도 표면 준비를 제공합니다.