판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion GT #293705874

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion GT는 반도체 및 나노 기술 산업을위한 다목적 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비입니다. AMAT Reflexion GT는 최신 기술 발전을 결합하여 기판의 고품질 표면 마무리를 지원합니다. TCO (총소유비용) 절감, 신뢰성 있고 견고한 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스, 광범위한 구성 및 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Reflexion GT (Applied MATERIALS Reflexion GT) 에는 정확한 모션 제어 및 인체 공학을위한 통합 12 인치 웨이퍼 핸들러와 완전 자동화 가능한 Work Station (WST) 이 포함되어 있으며 전체 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 2 단계 모션 시스템은 동작 범위를 단순화하고 수동 재배치 (re-positioning) 가 필요하지 않습니다. WST는 전동 XYZ 축을 활용하여 최적의 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스 기능을 제공합니다. 웨이퍼 처리 장치는 2 개의 독립적인 다중 축 스핀들 어셈블리와 최대 1 개의 특수 공구 위치를 사용합니다. 스핀들은 통합 CNC (Computer Numerical Control) 프로그램을 통해 자동으로 제어 할 수 있습니다. WST는 또한 기계의 작동 및 생산성을 최적화하기 위해 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 전송을 수용 할 수 있습니다. 반사 GT (Reflexion GT) 의 휠헤드는 오래 지속되는 연삭 기능을 위해 무한 회전 속도와 방향 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 고급 재료 과학 및 프로세스 기반 알고리즘을 사용하여 프로세스 결과를 최적화합니다. 낮은 운영 비용을 유지하면서 균일성과 최대 정밀도를 제공합니다. 이 도구는 서로 다른 기판 재료를 수용할 수 있도록 자동 그릿 크기 변경 기능을 갖춘 2축 조정 가능 그라인더를 갖추고 있습니다. 다양한 각도와 피치를 연마 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion GT는 전용 디버링 에셋을 사용하여 매우 미세한 기판 처리를 통해 추가 장비 없이도 정확한 마무리를 달성합니다. 또한 다양한 연마 기능과 고급 기판 회전 (Substrate Rotation) 및 변환 모델 (Translation Model) 이 장착되어 있어 추가 정확성과 생산성을 위해 독립형 또는 통합형 모드로 작동 할 수 있습니다. AMAT Reflexion GT는 효율적이고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 완벽한 솔루션입니다. 즉, 운영 및 연구 애플리케이션의 요구 사항을 모두 충족할 수 있도록 설계되었으며, 유지 보수 비용이 낮아 안정적인 운영을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 광범위한 구성을 통해, 이 장비는 기판 처리 요구에 이상적입니다.