판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Desica #9293597

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Desica
ID: 9293597
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Desica는 혁신적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 재료의 표면 곡률과 마무리를 정확하게 제어합니다. 이 시스템은 직경이 최대 200mm 인 재료의 비 접촉 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계되었습니다. 위치 반복성 및 해상도가 높은 6 축 전동 포지셔닝 단계를 사용하여 각 가공소재가 조각마다 최소 변동 (variation) 으로 일관되게 마무리되도록 합니다. AMAT Reflexion Desica는 다양한 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 조화를 이루도록 설계되었습니다. 주 구성 요소는 6축 위치를 지원하고 진동 (vibratory) 과 회전 (rotary) 동작을 달성 할 수있는 고해상도 그라인더/래퍼입니다. 그라인더/래퍼를 지원하는 프레임 어셈블리와 정밀 결과 포지셔닝을 위한 추가 X 및 Y 포지셔닝 단계, 베어링 프리로드 제어가 있는 스핀들 (spindle) 어셈블리. 슬러리 저수지, 연마 단계, 공기 보상 모듈 (air compensation module) 이 유닛의 다른 구성 요소입니다. 전체 머신은 유연하고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 작동하여 고급 프로세스를 제어합니다. 사용자 인터페이스는 복잡한 작업을 단순화하며 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 프로세스를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 프로세스의 모든 단계는 동일한 인터페이스를 통해 원격으로 모니터링, 제어할 수 있으며, 수집된 데이터는 실시간으로 표시/기록됩니다. APPLIED MATERIALS Reflexion Desica (APPLIED MATERIALS Reflexion Desica) 에는 사전 프로그래밍된 프로세스 레시피를 최소한의 수동 개입과 함께 사용할 수있는 연동 도구가 있습니다. 반사 데시카 (Reflexion Desica) 는 정확성을 염두에두고 설계되었으며, 정밀도가 높은 재료를 정확하게 갈고 연마 할 수 있습니다. 그라인딩 (grinding) 및 다듬기 (polishing) 프로세스는 지능형 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 높은 정밀도로 모니터링하고 제어할 수 있으며, 고객은 최고의 정밀 프로세스 제어 (precision process control) 를 통해 최종 제품이 모든 부분에서 일관성을 갖도록 보장할 수 있습니다. 마지막으로, 이 자산은 생산 환경에서 반복성과 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 높은 반복 가능성 계수로 AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Desica는 사용자 정의 프로세스 매개변수에 따라 최적화 된 결과를 만들 수 있습니다.
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