판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9379444
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ID: 9379444
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
CMP System, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
(3) Platens, 30"
Maximum speed: 133 RPM
Pad conditioner, 4"
3 Type DDF, 30-120 RPM
Slurry line: Maximum 400 ml/min
Torque end point system
(4) Heads:
Membrane press head: 3 Zones 0-15 psi
Spindle speed: Maximum 200 RPM
Cleaner 1:
Megasonic cleaner
With (2) rollers and idler
DIW Flow: 2.01 / min
Temprature controller: 20° - 50°
Wafer rotation speed: 6 RPM
Power: 950 kHz, 600 W
Cleaner 2:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW delivery: 2000 ml/min
NH4OH: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Cleaner 3:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW Delivery: 2000 ml/min
FPM: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Dryer:
Spin rinse dryer
Maximum speed: 2500 RPM
Infrared ramp heater: 1000 W
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 모든 웨이퍼 생산 과정에서 정확하고 빠르고 일관된 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 반도체 및 MEMS 제조에 사용하기에 이상적인 이 시스템은 금속에서 도자기 (ceramics), 유리 (glass) 에 이르기까지 다양한 기판에 걸쳐 강력한 성능과 다용성을 제공합니다. 3600은 4 개의 독립적 인 그라인딩/랩 포지션으로 구축되어 있으며, 빠르고 효율적인 생산을 위해 한 번에 최대 4 개의 기판을 처리 할 수 있습니다. AMAT Reflexion 3600에는 8 인치 용량의 최대 200mm 웨이퍼를 지원하는 로드 섹션이 있습니다. 로드 섹션은 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 케이스에 완전히 고정되어 최대한의 안전성과 성능을 제공합니다. 조정 가능한 로드 및 위치 지정 테이블은 직경 4 ~ 11 인치 사이의 기판을 수용 할 수 있습니다. 로드 (load) 섹션에는 기판 정렬이 정확하고 잘못된 로드를 방지하는 고급 센서와 소프트웨어가 포함됩니다. APPLIED MATERIALS Reflexion 3600에는 다양한 기판 크기와 모양을 수용할 수있는 고해상도 광학 뷰 장치 (Optical Viewing Unit) 및 X축/Y축 동작 머신도 있습니다. 통합 분할 프레임 도구 (Integrated Split Frame Tool) 는 기판을 정확하게 배치할 수 있도록 설계되었습니다. 3600의 연삭/랩 프로세스는 고급적이고 정밀한 서보 제어 자산으로 구동됩니다. 이 로 말미암아 운전자 는 정확 하고 반복 할 수 있는 "피드 '속도," 그라인딩 휠' 속도 및 "다이아몬드 휠 '속도 를 설정 하여 최적 의 결과 를 얻게 된다. 이 모델에는 운영자의 안전을 보장하기 위해 고급 안전 장비가 장착되어 있습니다. Reflexion 3600은 다양한 업그레이드 옵션과 함께 제공됩니다. 특정 그라인딩, 랩핑 및 연마 응용 프로그램을위한 맞춤형 컨트롤러가 장착 될 수 있습니다. 또한 다양한 맞춤형 그라인딩 휠, 다이아몬드 휠 및 플랫 랩 구성과 호환됩니다. 또한 3600에는 설치, 자동화, 프로세스 모니터링을 용이하게 하는 강력한 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 정확하고 일관된 결과를 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 장치는 다양한 고급 기능 (advanced features) 과 옵션을 통해 다양한 기판과 응용 프로그램을 수용할 수 있습니다. 이 기계는 빠르고, 효율적이며, 비용 효율적인 생산 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다.
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