판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223735

ID: 9223735
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
CMP System, 12" (4) SMIF Systems KENSINGTON Handler system ARGON Laser JDS UNIPHASE, 75 mW Chuck edgegrip 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 반도체 웨이퍼 처리를위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. AMAT Reflexion 3600은 최적의 처리량, 유연성 및 정밀도를 위해 설계되었습니다. 이 제품은 자동화된 처리 시스템과의 통합을 허용하면서 사용자의 액세스 편의성을 극대화하는 컴팩트한 개방형 (Open-Frame) 설치 공간 설계를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Reflexion 3600에는 견고하고 신뢰할 수있는 자기 부상식 리니어 모터가 있어 고정밀도 포지셔닝 및 이동이 가능하므로 위치 정밀도가 높고 반복 가능성이 10m보다 높습니다. 또한 직경 200mm (최대 속도 300rpm) 의 웨이퍼를 수용 할 수있는 2 개의 독립적으로 제어 된 연삭/연마 헤드가 있습니다. Reflexion 3600에는 진공 보조 '예인선' 시스템과 프로그래밍 가능한 크로스 헤드 (cross-head) 가 포함되어 있어 Z축 높이 제어를 통해 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 스핀들 (Wafer spindle) 과 장착 하드웨어 (Mounting Hardware) 및 프로그레시브 프로세스 파워 커브 (Progressive Process Power Curve) 의 3 차원 위치를 지정하여 다양한 처리 조건을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 안전하고 사용자 친화적인 작업을 위해 설계되었습니다. LCD 터치스크린 디스플레이를 통해 조정할 수 있는 제어기 (RPM, 토크, 시프트 업/다운, 웨이퍼 클리닝, 진공 레벨, 자동 분리 등) 를 갖추고 있습니다. 이 툴은 또한 사용자 친화적이고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 운영자가 프로세스를 빠르고 정확하게 프로그래밍하고 실행할 수 있도록 합니다. AMAT Reflexion 3600은 반도체 제작 및 정밀한 연삭 및 연마 프로세스가 필요한 기타 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 자동화된 프로세스와 사용자 친화적 제어 기능을 결합한 매우 정확한 포지셔닝 및 반복 기능을 통해 APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 (APPLIED MATERIALS Reflexion 3600) 을 통해 이상적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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