판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223702

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 다양한 기판에서 광학적으로 평평하고 부드러운 표면을 생산하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 특허 받은 공정 은 특별 히 설계 된 "다이아몬드 '연삭/" 랩핑 스톤' 을 이용 하여" 웨이퍼 '의 표면 을 원하는 거칠기 에 접어 넣는다. 웨이퍼 그라인딩에는 원하는 광학 품질을 달성하기 위해 멀티 링 (multi-ring) 연마 프로세스가 뒤 따릅니다. AMAT Reflexion 3600 (AMAT Reflexion 3600) 은 컴팩트하지만 최신 로봇 및 자동화 기술을 갖춘 풍부한 진공 챔버로 구성됩니다. 따라서 제품, 기판, 크기 등 다양한 용도로 처리량과 유연성이 향상됩니다. 단일 웨이퍼 입력 (single-wafer input) 및 출력 기술, 최대 18 개의 기판의 자동 로드 및 언로드가 제공됩니다. 공정의 연마 단계는 정밀 유압 지그에 대해 웨이퍼를 구동하는 다이아몬드 강화 풀리 (diamond-reinforced pulley) 를 사용하여 수행됩니다. 이것은 최적의 균일성을 보장하고 연마 과정을 제어합니다. 또한, 이 시스템에는 연마 과정에서 웨이퍼에 가해지는 압력을 모니터링하여 결과를 정확하게 제어 할 수있는 CLAPC (Closed-Loop Automated Pressure Control) 모듈이 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 (APPLIED MATERIALS Reflexion 3600) 의 정교한 프로세스 컨트롤러는 작업을 완전히 자동화하고 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 이를 통해 레시피 저장 및 리콜, 정책 설정, 비정상 감지, 프로세스 매개 변수 미세 조정 등을 간편하게 수행할 수 있습니다. 또한 그라인딩 (Grinding) 및 연마 (Polishing) 프로세스에 대한 실시간 모니터링과 함께 프로세스 진단 및 오류 코드 (Error Code) 를 제공하므로 운영자가 모든 배치에서 프로세스의 효과를 평가할 수 있습니다. 또한 반사 3600 (Reflexion 3600) 은 안전하고 깨끗한 환경을 보장하기 위해 설계되었습니다. 즉, 완전 밀폐되어 있고 격납용 (containment bagging) 장치를 사용하여 챔버와 그 컴포넌트를 깨끗하고 입자가 없습니다. 또한, 기계 에는 공기 중 의 오염 된 입자 를 제거 하는 강력 한 진공 도구 가 들어 있다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 (AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600) 은 최고 정밀도로 웨이퍼를 연삭 및 연마 할 수 있는 효율적이고 안정적인 자산입니다. 정밀한 프로세스 제어, 자동화된 기능, 강력한 안전 기능을 통해 다양한 어플리케이션에 적합합니다.