판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #293625723
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ID: 293625723
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
CMP System, 12"
Wafer shape: Notch
(3) Load ports, 8"
Dry in/dry out system
Clear type skin
MESA Cleaner type
Operator interface: FI Load port 4
Heater lamp
Polisher options:
Profiler head
4-Port Upper Pneumatics Assembly (UPA)
Dark pad sensor
KAWASAKI Wet robot
(2) Slurries pump type
Slurry dispense arm: Fixed
Platen configuration (1, 2, 3):
Platen type: PFA Coater platen
Platen pad: IC 1010
Platen pad conditioner: Screw-type disc
Cleaner options:
MEGASONIC Tank
Type: Pressurized
Scrubber module for 1 and 2:
Brush type: Texwipe PVA
Delivery type: Pressurized low flow
Upper E84 Senor and cable
KAWASAKI Single arm track robot
Standard load port: Operator interface
Load port: (25) Enhanced wafers FOUP
Facilities options:
Line voltage: 200-300 V
Line frequency: 50/60 Hz
GFCI: 30 mA
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 아트 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템의 상태입니다. 이 기계는 반도체 웨이퍼, MEMS 컴포넌트, 나노 스케일 장치 (nano-scale device) 와 같은 섬세한 재료의 처리에 매우 정확하게 사용하도록 설계되었습니다. 또한 최적 성능을 위해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT Reflexion 3600 (AMAT Reflexion 3600) 은 수력 계획 기술을 활용하여 웨이퍼 및 기타 하드 재료에 대한 고품질 표면 마무리와 균일성을 제공합니다. 수력 비행기 플랫폼은 작업 조각과 연삭, 랩핑, 연마 패드 사이의 지속적인 접촉을 허용합니다. 이는 표면 변색을 최소화하고 처리 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. 기계에는 자동 정지 기능이 있는 회전 작업 홀더가 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 필요에 따라 제거되거나 도입된 재료의 양을 정확하게 제어할 수 있습니다. 즉, 필요한 경우 해당 프로세스에 포함할 수 있습니다. 작업자에는 백 사이드 에어 시스템도 내장되어 있습니다. 이는 변형 및 진동을 줄이고, 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 초래하는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 (APPLIED MATERIALS Reflexion 3600) 은 웨이퍼당 10분 미만의 빠른 프로세스 주기 시간을 갖도록 설계되어, 사용자가 원하는 결과를 신속하게 달성할 수 있습니다. 또한 사용이 간편하고 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 사용하여 간단하게 설정하고 작동할 수 있습니다. Reflexion 3600에는 정확한 백사이드 그라인딩 및 랩핑을위한 멀티 축 모션 플랫폼도 있습니다. 또한 운영 체제 (processtunable contamination) 로부터 시스템을 보호하기 위해 설계된 전면 환경 인클로저도 포함되어 있습니다. 또한, 이 기계에는 다양한 센서 및 안전 기능이 기본으로 제공됩니다. 여기에는 다중 축 충돌 감지, 스키드 방지 안전 기능 및 진동 보호가 포함됩니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600은 사용자가 섬세한 재료에 대해 가장 높은 수준의 프로세스 정밀도를 달성하도록 설계된 강력하고, 안정적이며, 정확한 기계입니다. 정교한 설계를 통해 사용자는 원하는 결과를 빠르고 효율적으로 달성할 수 있습니다.
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