판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9293685

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 반도체 응용 분야를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. AMAT Mirra는 R&D 및 생산 목적으로 기판에서 매우 정밀한 표면 마감과 정확한 모양 제어를 달성 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Mirra는 CMP 공정의 게이트 산화물 성장 (gate oxide growth) 에 최적화 된 우수한 표면 마무리를 생성하여 연마 후 (post-polishing) 의 필요성을 줄이는 고급 습식 연삭 및 연마 공정을 갖추고 있습니다. 독특한 "벽 플러그 (wall plug)" 그라인드 제어 시스템은 연삭 중 기판 미끄러짐을 줄여 균일 성을 높이고 웨이퍼 평탄성을 향상시키도록 설계되었습니다. 미라 (Mirra) 는 또한 스텝 높이 제어를 개선하도록 설계된 높은 규정 준수, 저로드 기계화 웨이퍼 처킹 장치를 포함합니다. 이 기계는 추가 랩핑 프로세스의 필요성을 줄이고 입자 (particle) 및 서피스 스크래칭 (surface scratching) 의 잠재력도 최소화합니다. 이 도구에는 프로세스 스테이션 간 웨이퍼 이동을위한 로봇 웨이퍼 처리 자산도 포함되어 있습니다. 즉, 운영자의 안전성을 높이고 운영 및 프로세스 데이터를 정확하게 추적할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고급 인시 투 스크러빙 (in-situ scrubbing) 및 린싱 (rinsing) 프로세스를 통합하여 높은 수준의 오염 제어 및 작업 수명 연장을위한 자동 유지 관리 루틴을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 반도체, MEMS 및 박막 장치 제조의 엄격한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 높은 수준의 프로세스 반복 가능성, 다양한 프로세스 온도 범위, 통합 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 이 장비는 또한 효율적이고 안전한 작동을 촉진하기 위해 설계되었으며, 300mm 설치 공간이 낮아 공장 자동화 환경 (factory automation environment) 에 쉽게 맞출 수 있습니다. AMAT Mirra에는 다국어 운영자 인터페이스, 직관적 인 시스템 탐색 및 사용이 간편한 그래픽 프로세스 레시피 (graphical process recipe) 제작자도 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS Mirra는 반도체, MEMS 및 박막 장치 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 벽 플러그 그라인드 컨트롤 (wall plug grind control), 기계화 웨이퍼 처킹, 로봇 웨이퍼 처리, 고급 스크러빙 및 링 프로세스, 자동 유지 관리 루틴 등 고유한 기능을 통해 넓은 온도 범위에서 정확하고 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다.