판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9256808

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ID: 9256808
웨이퍼 크기: 8"
CMP System, parts machine, 8" SECS / GEM Main frame Delivery slurry arm and pump Transfer cross base Polish upper platen Polish platen gear box System controller: Backside PCB board Controller down force: AB Board Inter platen Clean cup Breakers Monitor Damaged parts: (3) Lower platens (12) Cover scraps (6) I/O and interlock boards (3) Platen drivers and motors (4) UPA Rotations (4) NSK Motors (4) Spindles (12) UPA Regulators (6) MEI Boards (6) CPU Boards (6) PC Assembly retrofit ML (4) Heads HCLU Fabs relative part Cables DIW Mainfold retrofit ML DC Power supply Wet robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 웨이퍼 처리 주기 동안 최고 수준의 정밀도, 정확도 및 균일성을 제공하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 300mm ~ 150mm 크기의 기판을 수용할 수 있으며, 거의 모든 유형의 재료를 처리할 수 있습니다. 고급 (Advanced), 자동화된 모션 유닛 (Motion Unit) 을 통해 처리량을 증가시키면서 기판과 프로세스 변동성을 줄일 수 있습니다. AMAT Mirra 머신에는 정밀 웨이퍼 (precision wafer) 연마 헤드가 장착되어 있으며, 잠재적 인 연마물 가변성을 줄이고 기판 방향에 관계없이 일관된 연마 결과를 제공합니다. 이 공구에는 닫힌 루프 압력 및 속도 제어 자산이 장착되어 있습니다. 이 기능은 균일 한 연마 결과를 제공하면서 기판 및 프로세스 변동 가능성을 제거하는 데 도움이됩니다. 모델의 고급 모션 컨트롤 플랫폼 (Advanced Motion Control Platform) 은 연마 패드 위에 웨이퍼 캐리어를 정확하게 조작하여 최적의 프로세스 제어를 가능하게하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Mirra 장비를 사용하여 실리콘, SiN 및 SiO2를 포함한 여러 필름 유형 레이어를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 특허를받은 독립 웨이퍼 캐리어 장치 (Independent Wafer Carrier Unit) 가 있어 여러 번의 동시 처리 주기가 가능합니다. 이 기능은 수작업 (Manual Wage) 처리가 필요 없으며 다운타임을 대폭 줄여줍니다. 미라 머신 (Mirra machine) 을 사용하여 모서리 반올림, 다이빙, 그라인딩 및 얇은 작업을 수행 할 수도 있습니다. 모든 작업은 공구의 고급 제어 컴포넌트 (advanced control component) 를 통해 정확하고 정확하게 이루어집니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra의 완전 자동화 자산 (Fully Automated Asset) 은 수작업의 필요성을 없애고 높은 수준의 효율성과 생산성을 제공합니다. 또한, 이 모델은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공하여 장비 설정 및 사용을 단순화합니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 시스템을 모니터링하고 처리 주기 전반에 걸쳐 필요한 조정 작업을 수행할 수 있습니다 (영문). 안전 장치 (Zone and Speed Control Unit) 와 같은 안전 기능도 추가적인 보호 기능을 제공하며, 운영자들이 안전하고 안전한 환경에서 일하고 있는지 안심합니다. 전반적으로 AMAT Mirra 기계는 강력하고 안정적이며 효율적인 웨이퍼 처리 도구입니다. 종합적인 일체형 자산 (All-in-One Asset) 으로, 수작업 (Manual Labour) 이 필요 없는 매우 정확하고 균일한 결과의 구성 요소를 생산할 수 있습니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 속도 조절 (Speed Control) 기능은 더욱 안심하고 안전합니다. APPLIED MATERIALS Mirra (APPLIED MATERIALS Mirra) 모델을 사용하면 간단하고 간단한 방법을 활용하여 웨이퍼 처리 주기에서 높은 수준의 정확성과 정확성을 얻을 수 있습니다.
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