판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9235104

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 반도체 제조 및 고급 재료 생산에 사용되는 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 모든 재료의 고밀도 웨이퍼를 갈아 넣을 수있는 정확하게 제어 된 로봇 조작기 (robotic manipulator) 를 사용합니다. 이 장치의 기능을 통해 처리량 향상, 수율 증가, 비용 절감 효과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 실리콘 및 기타 반도체, 다이아몬드, 유리, 도자기 및 기타 고급 재료와 같은 기판 제조 재료로부터 와퍼를 빠르고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 이 도구는 2 개의 독립적 인 로봇 조작기 (연삭 및 랩핑 용, 다른 하나는 연마 용) 를 사용합니다. 각 조작자 는 여러 개 의 "트위징 헤아드 '를 사용 하여" 그라인딩' 과 연마 작업 을 정확 하게 수행 하고 "웨이퍼 '에 원하는 표면 마무리 를 만들어 낸다. 자산은 연삭 속도, 랩 압력 및 연마력을 정확하게 제어합니다. 또한 표면 마무리 표본의 진행 중 모니터링을 통해 필요한 경우 실시간 수정 조치 (corrective action) 를 허용합니다. AMAT Mirra는 폐쇄 루프 제어 모델을 사용하여 정확하고 반복 가능한 출력을 제공 할 수 있습니다. 응용 재료 Mirra는 또한 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 로봇 조작기는 다양한 연삭 및 연마 작업을 수행하는 데 사용할 수 있습니다 (그림 1). 직경이 최대 500mm까지 연삭/랩핑을 처리 할 수 있으며 웨이퍼 프리 클리닝 (wafer pre-cleaning) 및 웨이퍼 데미지 수리 (wafer damage repair) 를 포함한 응용 프로그램에 적합합니다. 연마 하는 머리 는 "웨이퍼 '의 중심 까지 내려가기 때문 에 연마 과정 을 최적 으로 제어 할 수 있다. 이 장비 는 또한 "엔지니어 '들 에게 원하는 표면 의 질 에 따라 연마 과정 의 공격성 을 조정 할 수 있는 능력 을 제공 한다. 또한, 이 시스템에는 운영자의 안전을 보장하는 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 이 장치에는 음성 프롬프트 가청 경고 기계가있는 안전 패널도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 노출된 영역과의 우발적 접촉을 방지하고, 프로세스 오류에 대한 시각적 경고를 제공합니다. Mirra는 프로세스 시간 단축, 수율 향상, 생산 비용 절감, 연마, 랩 처리, 웨이퍼 연마에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 오늘날의 고급 재료 생산 및 반도체 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.