판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142634

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 웨이퍼 기판의 효율적인 처리를 위해 개발 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 표면에서 서피스 불완전성을 제거하여 내구성과 결함이 없는 서피스를 생성하는 데 사용됩니다. 이 장치는 고품질 스핀들 모터 (spindle motor) 를 특징으로하며, 기판 재료의 연삭 및 연마 공정을 구동하는 데 사용됩니다. 또한 온난화 된 공랭식 오븐 (oven) 이 포함되어 있어 웨이퍼 표면을 균등하게 가열하여 열 손상을 방지하면서 최대 양의 연마 마모제를 사용할 수 있습니다. 이 기계는 고정밀 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 과 전원 공급 헤드 (Powered Distribution Head) 로 구성되어 웨이퍼 표면의 반복 가능하고 일관된 로딩 및 연삭을 보장합니다. AMAT Mirra는 또한 정확하고 안정적인 진공 웨이퍼 클램핑 (clamping) 을 특징으로하여 웨이퍼를 빠르게 연마, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 특허를 획득한 독보적인 프로세스를 통해 최고 품질의 웨이퍼 (wafer) 표면을 최단 시간 내에 생성할 수 있습니다. 이 과정은 다이아몬드 먼지 (diamond dust) 와 운동학적 연삭 헤드 (kinematic grinding head) 를 사용하여 다단계 연삭 과정을 결합하여 우수한 결과를 제공합니다. 이 도구는 또한 효율적인 운영을 용이하게하기 위해 완전히 자동화 된 그라인딩 에셋을 갖추고 있습니다. 이 모델은 웨이퍼의 자동 연삭, 랩핑 및 연마를위한 5 축 로봇 플랫폼을 갖추고 있습니다. 따라서 수작업 (manual handling) 에 소요되는 시간을 단축하여 처리 시간을 단축하고 생산성을 높일 수 있습니다. 장비는 최고 품질의 웨이퍼 (wafer) 표면을 보장하기 위해 최신 프로세스 및 제어 기술로 설계되었습니다. 여기에는 프로세스 제어를 위한 통합 루프 컨트롤러 (loop controller) 와 반복성과 일관성을 보장하는 고급 레시피 관리 시스템 (recipe management system) 이 포함됩니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS Mirra는 효율적이고 고품질 처리를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 이 기계는 고품질 스핀들 모터, 오븐, 웨이퍼 척, 유통 헤드 및 진공 웨이퍼 클램핑을 갖추고 있습니다. 또한 자동 처리를 위해 멀티 스텝 그라인딩 프로세스와 5 축 로봇 플랫폼을 사용합니다. 마지막으로, 이 툴에는 반복성과 일관성을 보장하는 통합 루프 컨트롤러 (loop controller) 및 고급 레시피 관리 (recipe management) 자산도 포함되어 있습니다.