판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142631

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra
ID: 9142631
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
CMP Oxide systems, 8" 1999 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 등의 고밀도 표면 마무리 어플리케이션을 위해 설계된 완전 자동화 된 작업 스테이션입니다. 이 장비는 특히 집적 회로, 반도체, MEMS, 고급 광전자 장치 등의 전자 장치 제조에 적합합니다. AMAT 미라 (AMAT Mirra) 시스템은 광범위한 재료의 생산 규모 마감을위한 다용도, 정확하고 안전한 플랫폼을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Mirra 유닛에는 정교한 모션 플랫폼 (motion platform) 이 장착되어 있으며, 인증된 일련의 프로세스 구성 요소를 통합하여 탁월한 수준의 프로세스 제어를 제공합니다. 이 플랫폼에는 8 축 동작 제어, 자동 센서리스 측정, 자동 웨이퍼 방향, 다양한 고급 프로세스 제어 기능을 제공하는 프로세스 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 동작 제어 시스템 (Motion Control Machine) 을 사용하면 서피스 준비 작업을 정확하게 정의하고 프로그래밍할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 고속 그라인딩 디스크, 랩핑 플레이트, 연마 슬라이스, 웨이퍼 홀더 등 일련의 고급 웨이퍼 그라인딩 및 연마 액세서리가 포함되어 있습니다. 이 도구는 빠른 처리량을 위해 설계되었으며, 최대 8 "의 웨이퍼 크기와 최대 1000 rpm의 고속 그라인딩 헤드를 제공합니다. 이 플랫폼은 또한 온도 관리 자산 (thermal management asset) 을 통합하여 연삭 및 랩핑 작업 중 열 손상을 방지합니다. 이 모델은 공구 서피스 (tool surface) 와 공정 영역 (process area) 의 온도를 조절하여 열 폭주를 방지하고 고품질 서피스 마무리를 보장할 수 있습니다. Mirra는 또한 안전과 사용자 편안함을 향상시키는 다양한 기능을 가지고 있습니다. 내장형 내장형 가스 배기 장치 (gas exhaust equipment) 는 먼지 및 기타 공기 미립자를 캡처하고 작업 스테이션 내부에서 안전한 작업 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 보호 창 (Protective window) 실드를 사용하면 연삭 영역에서 안전한 거리를 유지하면서 작업을 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 그라인딩 (grinding) 작업을 지속적으로 모니터링하고 자동으로 조정하여 최고 수준의 서피스 마무리 품질 (surface finish quality) 을 유지하는 다양한 지능형 프로세스 제어 알고리즘을 포함합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra는 표면 마무리에 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 정확한 플랫폼이 필요한 제조업체에 이상적인 장치입니다. 즉, 컨트롤과 유연성을 통해 프로세스를 최고 수준의 정확도로 세밀하게 조정할 수 있으며, 안전 (Safety) 기능을 통해 안전하고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 빠른 처리량을 위해 설계되었으며, 다양한 재료를 처리 할 수 있으며, 산업용 (industrial) 또는 연구용 (Research Application) 에 이상적인 제품입니다.
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