판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Standalone #9313449

AMAT/APPLIED MATERIALE Mirra Standalone은 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 용으로 설계된 멋진 자동화 장비입니다. 이 시스템에는 웨이퍼 연삭 및 연마를위한 정밀 단계가 포함됩니다. 웨이퍼 랩핑을위한 COREBA 단계; 웨이퍼 처리량을위한 Apex 단계. 정밀 단계는 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 정확하고 자동으로 갈아서 연마 할 수 있습니다. 반복 가능하고 신뢰할 수있는 연마 결과를 위해 사전 프로그래밍 된 레시피를 제공합니다. 이 장치는 통합 시력 검사기 (Integrated Vision Inspection Machine) 와 함께 반복 가능한 동작 및 압력 제어를 사용하여 완벽한 연마를 보장합니다. COREBA 스테이지는 최대 200mm 크기의 웨이퍼를위한 자동화된 2 단계 웨이퍼 랩핑 도구입니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 가변 의 힘 으로 싸게 하는 독특 한 중앙 진공 설계 를 특징 으로 한다. 여기에는 다양한 웨이퍼 크기를 처리하기위한 여러 랩핑 플레이트가 포함되어 있으며, 웨이퍼 평탄성과 원형성을 보장합니다. Apex 단계는 통합 웨이퍼 처리량 자산입니다. 다중 로봇 기술, Wafer 식별 및 정렬을위한 비전 모델, Die Attach 기능을 활용합니다. 이를 통해 장비를 통해 여러 웨이퍼를 정밀하게 처리 할 수 있습니다. 전체 시스템은 정확성과 반복성을 위해 설계되었습니다. 높은 정확도 동작 제어 (motion control) 를 통해 웨이퍼를 일관되고 반복 가능한 방식으로 처리하여 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 또한 긴급 상황에서 오류 보고 (error reporting) 및 자동 종료 (automatic shoff) 와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. AMAT Mirra Standalone은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 고급 기계입니다. 각 작업마다 여러 단계가 있으며, 모두 정밀 모션 컨트롤 (precision motion control) 및 통합 비전 시스템 (integrated vision system) 이 특징입니다. 또한 정밀 웨이퍼 처리량을 위한 안전 기능 및 다중 로봇 기술이 포함되어 있습니다.