판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9250631

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak
판매
ID: 9250631
웨이퍼 크기: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak은 고정밀 자동 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계된 다용도 기계입니다. 특허 출원 중인 AATS (Automated Tooling Equipment) 가 제공되어 연삭, 랩, 연마 작업을 빠르고 정확하게 전환 할 수 있습니다. AMAT Mirra Ontrak의 독특한 특징은 최적의 연마 결과를 허용하는 정밀한 변조 힘을위한 매우 정확한 힘 제어 시스템입니다. 이 장치를 통해 APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak은 중요한 반도체 응용 프로그램에 사용할 다양한 재료를 안정적이고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 미라 온트랙 (Mirra Ontrak) 은 정확하고 안정적인 도구 동작을 보장하기 위해 강성 화강암 구조와 함께 4200mm/s까지 이동할 수있는 매우 정밀한 3 축 모션 플랫폼을 갖추고 있습니다. 또한 최대 400N의 통합 힘을 제공하는 2 개의 독립적 인 온도 제어 LM10 Force Control Machine 모터가 장착되어 있습니다. 또한 이 도구는 능동/수동 그라인딩 (active/passive grinding) 모드를 지원하며 미세 및 거친 처리를 모두 달성 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 미라 온트랙 (Mirra Ontrak) 은 힘 뿐만 아니라 분쇄 속도, 가속 및 감속을 측정하고 정확하게 제어하여 각 기판에 맞게 프로세스를 최적화하는 지능형 자산을 제공합니다. 또한 프로세스 제어 모델 (Direct Process Control Model) 을 통해 단일 프로세스 전체에서 처리 모드를 빠르고 정확하게 전환할 수 있습니다. 이렇게 하면 애플리케이션의 정확한 요구 사항에 따라 각 프로세스가 수행됩니다. 또한, AMAT Mirra Ontrak에는 온도, 습도 센서 등 다양한 환경 제어 시스템 (예: 온도, 습도 센서) 이 장착되어 있어 프로세스가 중단되지 않도록 기계의 환경을 모니터링합니다. 또한 사용자 (User and The Equipment) 와 장비 (Equipment) 를 보호하여 최고의 성능과 신뢰성을 보장할 수 있는 다양한 안전 기능이 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak은 액티브/패시브 그라인딩 모드 (Active/Passive Grinding Mode), 고속 동작 및 지능형 힘 제어 시스템 (Intelligent Force Control System) 을 통해 다양한 재료를 처리 할 수 있는 고정밀 분쇄, 랩핑 및 연마를 위해 특별히 설계된 견고성하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이것은 모든 반도체 응용에 이상적인 안정적이고 정확한 도구입니다.
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