판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275920

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa
ID: 9275920
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 반도체 제조에 이상적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 3 개의 기본 작업을 단일 통합 장치 (unified unit) 로 결합하여 웨이퍼 처리에 대한 정밀도, 정확도, 반복성 수준을 높입니다. 이 기계에는 완전 자동화 된 그라인딩 스테이션, 2 개의 랩핑 스테이션 및 4 개의 광택 스테이션이 있습니다. 그라인딩 스테이션에는 그라인딩 휠 (grinding wheel) 이 있으며 웨이퍼 표면의 균일하고 정확한 그라인딩이 가능합니다. 랩핑 스테이션은 웨이퍼의 평탄성, 표면 질감, 병렬성을 개선하도록 설계되었습니다. 즉, 내장형 모니터와 센서를 사용하여 간격과 깊이를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 공구에는 또한 4 개의 연마 스테이션 (polishing station) 이 있으며, 표면 마무리를 더욱 정제하고 원하는 수준의 마무리로 만듭니다. 또한, 로드, 언로드 및 물류를 위해 4 축 로봇 암이 포함되어 있습니다. 이 자산에는 오해 (mishandling) 와 웨이퍼 (wafer) 및 부품에 대한 잠재적 손상에 대한 우려를 줄이기 위해 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. AKT 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 또한 작업을 모니터링할 수 있으며, 변경 조건이나 사용자 입력에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 모델은 비용을 절감하고, 처리 시간을 단축하여, 모든 반도체 제조 환경에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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