판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275384

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 반도체 웨이퍼를 효과적으로 처리하도록 설계된 자동 플랫폼입니다. 이 시스템은 최대 200 와퍼/시의 처리량을 자랑하며 단일 패키지 구성으로 연삭, 랩, 연마 기능을 제공합니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 를 사용하면 여러 플랫폼에서 프로세스 모니터링 및 통계 프로세스 제어 (SPC) 기능을 사용할 수 있으며, 고급 로봇 제어 소프트웨어를 사용하여 프로세스에 대한 최적의 제어 및 정확성을 제공합니다. AKT Mirra Mesa에는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 다양한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 고속 웨이퍼 척, 견고한 로봇 암, 그라인드 헤드 및 멀티 축 베드가 포함됩니다. 침대는 3 차원 움직임을 특징으로하며, 프로세스 전체에서 안정적인 기판 위치를 유지하도록 설계되었습니다. "로봇 '암 은 긴장 조절, 속도 조절, 진동 감쇠 를 통해 그 과정 을 더욱 최적화 하는 데 도움 이 된다. 그라인드 헤드 (Grind Head) 는 고정 반지름을 사용하여 웨이퍼 (Wafer) 지형을 최적화하도록 설계되었으며, 과도한 마찰로 인한 정확성과 웨이퍼 표면의 손상을 방지하기 위해 카바이드 (Carbide) 블레이드가 장착되어 있습니다. 또한 AMAT Mirra Mesa는 이 시스템 고유의 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 여기에는 특정 랩핑 시간, 속도, 그리트 크기 및 기타 매개변수를 프로그래밍하는 기능이 포함됩니다. 또한 "웨이퍼 '회전 장치 가 갖추어져 있어서, 최대한의 균일 함 으로 최상 의 표면 마무리 를 이룰 수 있다. 또한 제어 도구 (Control Tool) 를 사용하면 최적의 프로세스 반복성을 위해 처리 매개변수를 도출 할 수있는 레시피를 저장할 수 있습니다. 자산은 각 웨이퍼에서 높은 품질과 안정적인 마무리를 보장합니다. 여기에는 높은 차원의 정확도와 표면 마감이 포함됩니다. 또한 금속, 산화물 및 기타 박막 (thin film) 이 증착되기 전에 우수한 평면 마무리를 생성 할 수 있습니다. 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 반도체 산업과 연구 개발 응용 분야에 이상적입니다.