판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9234753

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa
판매
ID: 9234753
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 다른 얇고 작은 기판의 제작에 고품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 시작 웨이퍼, 그라인딩 및 랩핑 헤드, 광택 헤드 (Polish Head) 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. AKT 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 최신 다이아몬드 기반의 마모제 재료를 사용하여 최종 제품에 균일하고 효율적이며 고정밀도 높은 마무리를 제공합니다. 시동 "웨이퍼 '는 먼저 부대 에 붙어 있는" 척' 에 걸려 들어가며, 그것 은 "웨이퍼 '를 지면 으로 회전 시킨다. "척 '의 엄밀 한 관용 은" 웨이퍼' 를 항상 일정한 각도 로 유지 하고 연삭 하고 연마 하는 동안 에 안전 하게 유지 한다. 각 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 헤드에 조절 가능한 다운 포스가 적용되어 웨이퍼에 일관된 압력 적용이 가능합니다. "그라인딩 '과" 랩핑' 머리 에는 "웨이퍼 '를 정확 하고 제어 할 수 있는 일련 의" 다이아몬드' 연마제 가 들어 있다. 그런 다음, 연삭 과정 에 이어 "다이아몬드 슬러리 '와" 버핑 블록' 한 벌 을 사용 하여 "랩핑 '과정 을 수행 한다. "다이아몬드 '가 담긴 슬러리 (slurry) 는 전체 표면에 걸친 웨이퍼에 적용되어, 최종 제품의 전체 성능에 위험할 수있는 나머지 재료를 제거하는 데 도움이됩니다. 버핑 블록은 웨이퍼 표면을 더 매끄럽게 만드는 데 사용됩니다. 마지막으로, 광택 헤드는 웨이퍼 표면을 마무리하는 데 사용됩니다. 이 헤드는 매끄럽고 거울 같은 마무리를 위해 특별히 설계된 세라믹 미디어 (세라믹 미디어) 를 사용합니다. 광택 "헤드 '는" 웨이퍼' 표면 을 균일 하게 연마 하고 기본 기판 에 손상 을 입히지 않도록 매체 의 움직임 을 일관성 있게 유지 한다. 결국, AMAT 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 효율적이고 다목적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로 얇고 작은 기판에서 고품질의 마무리를 달성하기 위해 사용할 수 있습니다. 이 기계는 일관성 있고 균일 한 마무리를 보장하는 매우 정밀한 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 구성 요소를 갖추고 있어 반도체 웨이퍼 제작에 이상적인 선택입니다.
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