판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232935

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa
ID: 9232935
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 다양한 고급 웨이퍼 처리 기능을 제공하는 정밀 웨이퍼 처리 시스템입니다. AKT 및 AMAT가 개발 한 AKT Mirra Mesa 장치는 다양한 웨이퍼 기판을 매우 정확하게 분쇄, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. AMAT 미라 메사 (Mirra Mesa) 기계는 웨이퍼의 일관성 있고, 정밀도가 높은 그라인딩, 랩핑 및 연마를 보장하기 위해 위치 및 속도 피드백 루프를 사용하여 지정된 표면을 정확하게 찾고, 위치 진동을 < 10 옹스트롬으로 유지하고, 모든 표면이 똑같이 접지/광택이 있는지 확인합니다. 이 자산은 또한 모든 중요한 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하는 고속 디지털 비디오 카메라 (High Speed Digital Video Camera) 를 갖추고 있습니다. 미라 메사 (Mirra Mesa) 모델은 최대 8 개의 웨이퍼를 보유한 단일 플레이트 디자인으로 설계되었으며, 전체 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스에 향상된 열 및 기계적 안정성을 제공합니다. 자체 포함 된 핸드 펌프는 새로 접한 웨이퍼 표면에 직접 랩핑 압력을 제공하는 반면, 1 차 공기 베어링 스핀들은 처음에 최대 5,000 rpm에 이르는 속도를 최대 10,000 rpm까지 구성 할 수 있습니다. 이 장비 는 파형 발전기 를 이용 하여 "그라인딩 '," 랩핑', 연마 를 정해진 깊이 의 자르기 까지 한다. APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 시스템은 매우 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 장치로, 연삭, 랩핑, 연마, 기타 프로세스 등 다양한 웨이퍼 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 환경 관리/안전 (Environmental Control and Safety) 기능을 갖추고 있어 웨이퍼와 프로세스는 일관성 있고, 오염이 없으며, 품질 표준을 준수할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa 툴은 향상된 프로세스 제어 및 자동화 기능을 통해 오류를 줄이고, 웨이퍼 수율을 개선하고, 자원을 절약할 수 있습니다.
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