판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232743

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 반도체 웨이퍼를 정확하게 갈아 넣고, 랩핑 및 연마 할 수있는 자동 웨이퍼 그라인딩 장비입니다. 이 시스템은 기본 프레임, 웨이퍼 처리 로봇, 3 축 간트리, 2 개의 스핀들 드라이브 및 통합 웨이퍼 래퍼 및 폴리셔로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 로봇은 X, Y 및 Z 이동 축을 특징으로하며 서브 미크론 포지셔닝 반복성으로 최대 1m/s의 속도로 작동 할 수 있습니다. 이 제품은 웨이퍼의 픽업 및 로딩이 가능하며, 운전자 제어 급지율을위한 힘 제어 급지대 (force controlled feeder) 가 장착되어 있습니다. "로봇 '은 또한 운전자 의 안전 을 보장 하고, 그 장치 를 오해 나 기타 사고 로부터 보호 하는 데 도움 이 되는 안전 연동 장치 를 갖추고 있다. 트리플 축 간트리 (triple-axis gantry) 는 파퍼 로봇뿐만 아니라 그라인딩 및 랩핑 스핀들을 배치하는 데 사용됩니다. X, Y 및 Z 이동 축이 특징이며 위치 정확도는 최대 0.01mm입니다. 2 개의 독립적 인 높은 토크 DC 모터로 구동되며 고급 모션 컨트롤러로 제어됩니다. 2 개의 스핀들 드라이브는 그라인딩 및 랩핑 스핀들을 회전시키는 데 사용되며, 그라인딩 스핀들의 경우 최대 1400 RPM, 랩핑 스핀들의 경우 최대 8200 RPM의 가변 속도 드라이브를 특징으로합니다. 이 기계는 또한 자동화 된 웨이퍼 래퍼 (wafer lapper) 와 폴리셔 (polisher) 를 특징으로하며, 웨이퍼를 미리 결정된 두께와 표면 마무리로 랩하고 닦는 데 사용됩니다. 이것은 처리 헤드 및 연마제 필름을 사용하여 수행되며, 최대 0.3 초까지의 반복 가능성으로 최대 3 초의 처리 정확도를 달성 할 수 있습니다. AKT Mirra Mesa는 반도체 웨이퍼를 정밀 그라인딩, 랩 및 폴란드화하도록 설계된 자동 도구이며, 고급 모션 컨트롤 자산, 스핀들 드라이브 2 개, 자동 웨이퍼 래퍼 및 폴리셔를 갖추고 있습니다. 뛰어난 위치적 반복성과 정확성, 그리고 정확한 웨이퍼 두께와 표면 마무리 (surface finish) 를 달성 할 수있는 능력은 다양한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 어플리케이션에 이상적인 모델입니다.