판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232538
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판매
ID: 9232538
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
CMP System, 8"
Technology: CMP STI
Platform type: Mirra Mesa
Wafer shape: Flat
Application information:
Application: Oxide
System: Dry in / Dry out
Device type: D-RAM
Device geometry: 0.09 Microns
Process materials:
Polish slurry: STI
Platen 1, 2 & 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphragm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder
Interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from Reflexion)
Megasonics
Robot type: AMAT / APPLIED MATERIALS
In situ removal rate monitor: Digital
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF Type
Installation type: Through the wall
Integrated system basic FABS: FABS 212
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Platen surface: Teflon coated
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (2) Slurries by peristaltic pump
Slurry flow rate: STD Flow
Slurry flow monitor
Slurry containment bulkhead: Single containment
No slurry loop line
Slurry dispense arm: Extended rinse arm
No slurry leak detector
DI Water
High pressure rinse
Mirra type
Cleaner type: Mesa (Converted from Reflexion)
Fabs type: SMIF Type
Safety equipment:
Red turn to release EMO button: STD
EMO Guard ring
System labels: English
Smoke detector
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 30 Ft
Controller to monitor cable: 30 Ft
Factory hookup:
Standard upper exhaust
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold: 4 Line to Fac
Drain adapter: NPT Fitting
No castors for Mirra system
Weight distribution plate (Skid pad)
User interface:
Gray area: Monitor
Cleanroom: Monitor
Class cart for monitor
No class cart for (2) monitors
No class 100 cart for (2) monitors
Stainless cart
Mouse / Trackball: PC Mouse
No hard disk backup
Polisher / Fabs light tower:
Tower mounting type: (4) Lights
Polisher tower: (4) Colors
UPA Water fall
Inter platen clean type with splash guard
Polisher tower colors sequence: RYGB
Cleaner option: Mesa cleaner
Maintenance options:
Single spray gun
No lapping stone
Special options:
No nylon brush
E-Chain teflon sheet: Water fall
No low pressure release water
Spares parts:
Heads
Retaining ring
(2) Pad conditioner heads
Mesa:
Direct chem type:
Megasonic module
Brush 1
Brush 2
Standard:
SRD
Output station
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200~230V
Delta connection
Power lamp: Green
No power connected lamp
Circuit breaker: 200A
AC Outlet box: 100V
No configurable I/O
Wide type GFI: 50mA
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 제조업체가 지속적으로 증가하는 고성능, 저렴한 장치에 대한 수요를 충족시키기 위해 개발 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계는 다양한 표면 마무리 응용 프로그램에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 가공소재는 핀이 달린 연마 휠, 다이아몬드 패드 (diamond pad) 또는 연마 패드 (polishing pad) 와 함께 제조 플랫폼에 적재되며, 응용 분야에 따라 최대 12,000 rpm의 속도로 회전합니다. 그런 다음, 가공소재 의 표면 을 가로질러 "스핀들 '을 끌어내어 눌러서, 점차 표면 재료 를 갈아낸다. 이 기술을 통해 사용자는 재료 제거 (material removal) 의 양을 제어할 수 있으며, 제품 일관성 향상을 위해 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 서피스 마무리 (surface finish) 를 보장합니다. AKT 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 디지털 제어 시스템으로 설계되었으며, 필요에 따라 연삭 및 연마 과정을 모니터링하고 조정하는 다양한 측정 및 피드백 메커니즘을 포함합니다. 이 장치에는 통합 광학 기계 (Integrated Optical Machine) 도 포함되어 있으며, 이 시스템은 미리 정해진 매개변수에 따라 가공소재를 처리하고 각 단계 후에 일관된 마무리 및 서피스 무결성을 확인합니다. 이 도구는 먼지와 이물질이 모델의 내부 컴포넌트로 전달되는 것을 방지하는 필터레이션 (filtration) 에셋 (asset) 을 내장하여 최적의 성능과 깨끗함을 유지합니다. 또한, AMAT Mirra Mesa는 광범위한 온도에서 작동하며, 모든 유형의 가공소재 재료에 적용 될 수 있습니다. 응용 재료 Mirra Mesa는 표면 마무리를 위해 고정밀 프로세스를 추구하는 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 통합 디지털 제어 및 모니터링 시스템, 조절 가능한 압력 및 온도 설정, 먼지 없는 여과 시스템 (dust-free filtration system) 은 품질 제품을 생산하는 데 필수적인 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다.
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