판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9228448
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판매
ID: 9228448
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
CMP System, 8"
Process application: Oxide & Poly
EMO Type: Push bottom
Status light tower:
Red
Yellow
Green
FABS Configuration:
Type: SMIF / (3) Ports
Robot blade
Robot
No calibration computer
Fan unit
Floppy disk
Polish module:
Head type: Titan I
HCLU
Single wafer loss sensor
(3) Slurry arms type: Short
No facilities interface panel
Pad conditioner type: Cylinder
(3) Pad conditioners
Remote monitor: Table mount
Wet robot
Wet robot blade
Queue tank
Queue tank cassette
(4) Heads
(4) Rotation units
(4) UPA Sets
(4) Spindles
(4) NSK Rotation motors
(4) Head sweep motors
(4) Head sweep slider assemblies
(4) Head clamps
(3) Platens
(3) Platen motors
(3) Platen gearboxes
MESA Module:
Megasonics delivery type: Pressurized
AP50 Pump
Direct BU1 &BU2 Delivery type
No SRD heater lamp
Upper electronics box
Working beam
Input shuttle type: Half-moon
Chemical configuration:
HF
Slurry flow type: Slurry pump
NH4OH
CE Safety mark: English
CIM Configuration: SECS
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 170 A
Frequency: 50-60 Hz
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 실리콘 웨이퍼의 고정밀 랩핑 및 연마 용으로 설계된 자동 시스템입니다. 이 장치는 매우 정밀한 성능과 다양한 옵션 (예: 고객의 고유한 요구 사항을 충족하는 기술을 손쉽게 맞춤 구성할 수 있는 기능) 으로 설계되었습니다. 이 기계는 높은 수준의 생산성, 안정성, 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 지속적인 재순환 환경을 갖춘 고정밀 랩핑 및 연마 플레이트를 특징으로합니다. 정밀판은 최소한의 표면 손상으로 품질 (Quality Result) 을 보장하도록 설계된 독특한 스크래치 (non-scratch) 재료로 만들어졌습니다. 정밀 판은 조절 가능한 속도 구동 모터 (speed drive motor) 에 의해 구동되므로 랩핑 및 연마 작업의 속도와 방향을 정확하게 제어 할 수 있습니다. AKT Mirra Mesa는 또한 랩핑 속도와 정확도를 모니터링 및 제어하기위한 통합 레이저 간섭계 (Integrated Laser Interferometer) 자산을 갖추고 있습니다. 레이저 간섭계 (Laser interferometer) 는 랩핑 작업의 정확한 위치와 속도에 대한 데이터를 제공하므로, 모델이 원하는 프로세스 시간을 유지하기 위해 필요에 따라 랩핑 속도 (lapping speed) 와 매개변수를 수정할 수 있습니다. 사용자 친화적인 통합 그래픽 인터페이스를 통해 사용자는 장비를 손쉽게 제어, 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고정밀 워터 제트 펌프 장치 (water jet pump unit) 를 사용하여 랩핑 및 연마 작업을위한 최적의 물 흐름 속도를 허용합니다. 최적화된 워터 제트 머신을 사용하면 더 빠르고, 조용하고, 더 매끄러운 랩핑 작업이 가능합니다. 이 도구 는 또한 "랩핑 '과 연마" 플레이트' 에서 먼지 입자 와 기타 오염 물질 을 제거 하기 위한 독특 한 먼지 와 입자 추출기 로 설계 되었다. AMAT Mirra Mesa (미라 메사) 는 또한 먼지 및 기타 오염 물질로부터 전체 패키지를 보호하도록 설계된 독특한 먼지 덮개 자산을 갖추고 있습니다. 게다가, 이 "모델 '은" 플레이트' 를 재빨리 식히고 열 관련 문제 를 최소화 할 수 있는 정교 한 냉각 장치 로 설계 되었다. 응용 재료 Mirra Mesa 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 정밀도 및 정확도로 실리콘 웨이퍼를 랩핑 및 다듬기 위해 설계된 솔루션입니다. 사용자 친화적인 통합 그래픽 인터페이스와 다양한 옵션 (옵션) 을 통해 간단하고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 를 준비할 수 있습니다. 이 장치의 첨단 기술은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 를 준비하기 위한 빠른 처리 시간으로 품질, 안정성, 생산성을 보장합니다.
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