판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9188747
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판매
ID: 9188747
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Copper CMP system, 8"
TITAN Head
AEP Retaining ring
Copper
Interlock key switch
(4) Drains
Dual wafer loss sensor
Mirra software
MESA Software
SMIF
Pentium controller
Robot, 75"
Que tank for MESA
Direct FEED LDM
Pressured LDM
Robo blade purge present
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 획기적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 레거시 웨이퍼 그라인딩 및 연마 시스템에 비해 훨씬 더 높은 수준의 정밀도, 제어, 균일성 및 신뢰성을 제공합니다. AKT Mirra Mesa는 그라인더 스무더 응용 프로그램, 저소음 작동 및 완벽한 웨이퍼 표면 마감을위한 다지향 모션에 적합합니다. AMAT Mirra Mesa는 최대 200mm의 와퍼를 연삭, 연마 및 랩핑하기위한 마이크로 마무리 장치입니다. 고급 벡터 제어 알고리즘을 갖춘 고효율 서보 모터 드라이브 (servo motor drive) 를 통해 고속 (high speed) 에서 높은 정확도를 제공합니다. 이 기계는 빠른 변경 공구 설계 (Quick-Change Tooling Design) 를 통해 고도로 자동화되어, 웨이퍼 유형 간의 효율적인 설정 및 전환이 가능합니다. Mirra Mesa는 전용 CAD 및 CAM 소프트웨어를 통합합니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 컨투어와 평면 서피스를 생성하고 절삭 경로를 최적화할 수 있습니다. 부품 형상과 두께를 기반으로 그라인딩, 연마, 랩핑 경로를 생성할 수 있으며 자동 그라인더, 폴리셔, 래퍼를 프로그래밍하는 데 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 는 다양한 구성으로 제작되어 다양한 수준의 운영 요구 사항과 애플리케이션에 적합합니다. 이 도구는 이동식 선형 가이드 (Removable Linear Guide), 높이 조정기 (Height Adjuster) 및 다양한 이동 부품을 사용하여 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한 자동 차단, 키리스 작동, 안전 인터 록, 비상 정지, 전자 온도 센서 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 인상적인 반복성으로 정확하고 일관된 부품을 생산할 수 있습니다. 자산은 우수한 품질 제어 및 부품 표면 마무리를 제공합니다. 또한 다양한 미세 표면 마무리 요구 사항을 수용하기 위해 보정 및 미세 튜닝에 적합합니다. 전반적으로 AKT Mirra Mesa는 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 탁월한 속도, 정확성, 반복성을 제공하여 경쟁력 있는 비용으로 고품질 부품 (고품질 부품) 을 일관되게 생산할 수 있습니다. 이 장비는 자동화되고, 사용자 친화적이며, 직관적이며, 다양한 산업 부문에서 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기에 이상적인 솔루션입니다.
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