판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9119027

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ID: 9119027
CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Grinding, Lapping and Polishing Equipment는 반도체 및 광전자 산업의 웨이퍼에 최고 수준의 서브 미크론 정밀도 및 표면 마무리 품질을 제공하도록 설계된 완전 자동화 된 단일 웨이퍼 연마 시스템입니다. 이 기계는 고정 분쇄 마모제를 갖춘 통합 플래튼을 사용하여 반도체 웨이퍼를 갈고, 랩하고, 닦습니다. 정밀하고 반복 가능한 재료 제거를 위해 피드 레이트 (feedrate) 제어를 갖춘 서보 모터 (servo-motor) 에 의해 구동되는 스핀들이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 또한 속도, 스트로크 속도, 절삭 압력, 주기 시간 (cycle time) 과 같은 그라인딩 매개변수를 프로그래밍할 수있는 컴퓨터 제어 머신이 있습니다. 이 도구는 최고의 웨이퍼 서피스 (Wafer Surface) 를 달성하기 위해 사용자용 고정밀 제어 (High-Precision Control) 를 제공하는 고급 설계 및 구성으로 설계되었습니다. Silicon, Gallium Arsenide (GaAs), Indium Phosphide (InP) 및 기타 화합물 반도체 재료를 포함한 광범위한 웨이퍼 재료를 처리하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 자산에는 연마 및 연삭 매체에서 고품질 입자의 최적의 연마 및 빠른 대피를위한 진공 척 (vacuum chuck) 도 포함됩니다. 혁신적인 디자인으로 AKT Mirra Mesa는 뛰어난 성능, 안정성 및 재현성을 제공합니다. 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 이상적인 기계입니다.
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