판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952
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판매
ID: 9104952
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
CMP system, 8"
System: Dry in / Dry out
Process: Cu
Software
Polisher MB60a1
Cleaner CB22p2
Endpoint IB11h7
CPU Pentium III 400MHz
Dual RAID HardDisk Yes
HardDisk Size 68GB
RAM 128MB
Hardware
Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200
Cleaner Mesa
Indexer Rorze FABS SMIF
# FOUP Install: (3)
Metrology None
Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each
Endpoint Laser P1 iScan
Endpoint Laser P2 FullScan
Endpoint Laser P3 None
Polisher Middle Skins Opaque
Pad Conditioner type Universal
Platen Coating Teflon
UPA Standard
Chiller No
Com Port Server Digi EL160
Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors
Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers
Slurry in CLC Yes
Slurry Arm 4line
Polishing Head Titan I
Rotary Union 4-port
Cross type Cattrack
UPA 3 Port
Megasonics yes
SRD Yes
Brush 1 yes
Brush 2 yes
PM reduction kit
blackout covers
Splash guard
Exhaust blower
Magnehelic Pressure Low Level detection kit
SRD Exhaust Interlock
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 다양한 웨이퍼 응용 프로그램에서 최적의 성능을 내기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고르지 않은 표면 돌을 정확하게 분쇄하는 고정밀 광학 분쇄기로 구성됩니다. 정확하고 반복 가능한 그라인딩 움직임을 제공하는 이중 축 모터 제어 장치 (dual-axis motor control unit) 가 특징입니다. 이 기계에는 닫힌 루프 응답 도구를 제공하는 초 보라 큐링 머신 (ultra-violet curing machine) 도 장착되어 있습니다. 그것 은 완전 히 평평 한 표면 으로 빠르고 정확 하게 "랩 '하고" 와퍼' 를 닦도록 설계 되었다. 조정 가능한 전원 공급 장치 (Adjustable Power Supply) 는 맞춤형 결과를 제공하는 반면, 진공 보호 전자 자산은 외국 재료가 주요 작업 영역으로 들어가는 것을 방지합니다. AKT Mirra Mesa는 평면과 윤곽선 웨이퍼 모두에서 뛰어난 표면 마감과 정확성을 보장합니다. 정확한 표면 마무리에 기여하는 특수 스핀들 (spindle) 디자인이 특징입니다. 냉각수 (coolant) 모델은 웨이퍼에 대한 열 손상 위험을 더욱 줄여 고품질 결과를 낳습니다. 또한, 기계의 이중 축 모터 제어 장비는 진동을 최소화하여 공구 수명이 증가하도록 설계되었습니다. 전반적으로 AMAT Mirra Mesa Wafer Grinding, Lapping 및 Polishing System은 정확성과 성능을 제공합니다. 고급 냉각 기술은 일관된 제품의 정확성을 보장합니다. 내장 진공 보호 장치는 오염 위험을 최소화합니다. 기계의 이중 축 모터 제어 도구는 진동 및 공구 마모를 더욱 줄입니다. 결과적으로, 이상적인 표면 마무리로 플랫 (flat) 및 컨투어 (contored) 웨이퍼를 정확하게 생성합니다.
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