판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9077553
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판매
ID: 9077553
CMP system, 8"
Cross Assembly:
Absolute Encoder Harmonic Drive
(4) NSK Megatorque spindle assemblies with fuse blowing fix
(4) Vexta 5-phase head sweep motors
(4) Cu Titan polishing heads
(3) Platen system with Alpha low-noise gearboxes, Yaskawa motors w/ NEC compliant cables
(3) AMAT DDF3 pad conditioners
Cu Slurry delivery system
AMAT Copper Rinse / Slurry delivery arms
Leak proof polisher skins
Closed loop monitoring features
Fluid reduction package
Input voltage: 200-240 VAC 50/60 Hz
Integrated Mesa cleaner:
Wafer sense transfer station
Single wafer machined (leak proof) Megasonic tank
Vertical spin rinse dry station
Flow monitoring on all cleaner chemical and DI flows (On/off)
Edge grip automation
Side feed facilities and exhaust
Mesa power supplied by Mirra controller
Line of sight top cover between Mesa and Mirra
Digital ISRM monitor integrated into the polisher (all 3 platens) with:
Full face HW/SW capability and dual optical ISRM / iSCAN ISRM in platen 1
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 고정밀 반도체 장치 제작 및 공정 개발을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정확한 웨이퍼 서피스 마무리 (wafer surface finishing) 를 위한 다양한 도구를 갖추고 있으며 실시간 프로세스 모니터링을 위한 통합 프로세스 제어 장치 (integrated process control unit) 를 갖추고 있습니다. 또한 자동화된 웨이퍼 로드/언로드, 자동화된 프로세스 시퀀스 제어, 통합 전기 테스트 등의 고급 기능을 제공합니다. AKT Mirra Mesa 도구는 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 또한 전기 합성, 결함 제거, 표면 평면 화, 단면 및 양면 연마 등 다양한 공정 레시피를 제공합니다. 자산은 압력 (pressure), 속도 (speed), 온도 (temperation) 와 같은 프로세스 매개변수를 제어하고 모니터링하여 정확한 결과를 확인할 수 있습니다. 안전성 기능이 내장 된 자동 웨이퍼 (wafer) 처리 모델과 자동화된 로터리 웨이퍼 (rotary wafer) 테이블이 장착되어 있습니다. AMAT Mirra Mesa 장비는 또한 고급 이미지 처리, 시각 보조 패턴 인식 및 정확한 웨이퍼 표면 평가를위한 도량형 도구를 갖춘 고정밀 비전 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 전체 프로세스의 정확성과 반복성을 완벽하게 제어합니다. 또한 "린싱 '과정 의" 피드' 와 압력 의 속도 를 조절 할 수 있다. 기계에는 고급 소프트웨어 (advanced software) 와 안전 기능 (safety features) 이 장착되어 있어 작동 중 작업자와 공구가 안전한지 확인합니다. 또한 고급 프로세스 제어 및 모니터링 기능 (실시간 프로세스 데이터 수집 포함) 을 제공합니다. 이 자산은 CE, UL 및 CSA와 같은 다양한 안전 표준을 준수합니다. 이 모델은 또한 고객에게 탁월한 기술 지원 및 서비스를 제공하기 위한 AKT 약속의 지원을 받습니다. 요약하면, 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 반도체 산업의 성능 요구 사항을 충족하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 통합 프로세스 제어 시스템 (Integrated Process Control System) 및 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System) 과 함께 정확한 표면 마무리를 위한 다양한 도구를 제공합니다. 다양한 안전 표준을 준수하며, 탁월한 기술 지원 및 서비스를 고객에게 제공합니다.
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