판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9075137

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 최대 웨이퍼 직경 200mm 및 최대 웨이퍼 두께 6.5mm의 다기능 시스템입니다. 이 자동 장치 (Automated Unit) 는 폐기물 생산을 최소화하면서 고성능, 정밀도가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 기계는 웨이퍼 회전 속도를 제어하는 데 도움이 되는 조정 가능한 구동 휠 (Adjustable Drive Wheel) 을 갖춘 단일 기판 지원으로 구성됩니다. 기판 지원은 연삭, 랩핑 및 연마 과정에서 기질의 정확한 3 차원 위치 지정을 허용하는 선형 모션 (linear-motion) 단계에서 지원됩니다. 뿐 만 아니라, 이 도구 에는 "와퍼 '로부터" 그라인딩' 을 제거 하면서 가공 실 의 청결 함 을 유지 하는 데 도움 이 되는 추출기 가 들어 있다. 에셋은 최고 35,000 RPM의 속도 범위로 평면 및 반경 웨이퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 고급 동적 로터 (Advanced Dynamic Rotor) 는 원심력을 사용하여 전체 그라인딩 사이클 전체에서 연마 미디어에 적절한 연마력을 적용하여 기판 표면에서 균일 한 재료 제거를 보장합니다. 이 모델은 또한 특수 응용 분야에 사용할 수있는 2 개의 연마 헤드를 제공합니다. 첫 번째 헤드는 일반 연마 용으로 설계되었으며, 최대 10,000 RPM의 속도로 사용할 수있는 에어 제트 (Air Jet) 청소 장비를 통합합니다. 두 번째 헤드는 더 세밀한 마무리 및 더 미세한 재료 제거를위한 고해상도 광택제입니다. 이 시스템은 또한 프로세스 시간, 분쇄력, 거친 입자 크기 등의 실시간 정보를 제공하는 고급 프로세스 모니터링 (Advanced Process Monitoring) 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 폐기물을 제거하고 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치의 고급 자동화 기능을 통해 반자동 (semi-automated) 프로세스를 통해 운영자의 개입을 줄이고 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. 전반적으로 AKT Mirra Mesa 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계는 정확성과 신뢰성이 필요한 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 이 도구의 동적 로터 (dynamic rotor), 고해상도 (high-resolution) 옵토 전자 감지 기능, 고급 자동화 기능은 모두 고성능 및 정확성에 기여하는 반면, 고급 프로세스 모니터링 기능은 폐기물을 최소화하고 일관된 고품질 결과를 보장합니다.