판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293771203
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ID: 293771203
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2011
Chemical Mechanical Polish (CMP) system, 6"
Equipped with integrated NOVA Measurement system
Process: Oxide
Wafer shape: Flat
Factory interface:
Cleaner type: Mesa
Megasonics
WET Robot
Nova 2040 In-line metrology system
Interface: SECS / GEM
Controller CPU Type: 5201
25-Slot cassette
Platen and head options:
Polishing head: (4) Profiler heads, 6"
Consumable retaining ring
Pad wafer loss sensor: Dual sensors with light light pipe
Platen temperature control
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (3) Slurries
No slurry flow monitor
EMO Guard ring
No smoke detector
Circuit breaker: 200 A
Wide type GFI: 30 mA
Spray gun
PC
Mouse
Power supply: 200-230 V, 50/60 Hz
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 반도체 웨이퍼 및 기타 섬세한 기판에 우수한 연삭, 랩 및 연마 결과를 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 프로세스 시스템입니다. 이 단위는 두 단계의 그라인딩, 랩핑 및 연마로 웨이퍼 평면, 입자 레벨 및 표면 품질을 향상시킵니다. 이 기계는 Si, GaAs 및 기타 III-V 화합물을 포함한 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. AKT Mirra Mesa는 모듈 식이며 다양한 기질로 2 "~ 8" 웨이퍼를 처리하는 데 사용할 수 있습니다. 이 도구는 3M Cubitron Grinding Discs, diamond bonded alrasive 및 carbon composite discs를 포함한 다양한 그라인딩 미디어와도 호환됩니다. AMAT Mirra Mesa에는 이송 속도, 스핀들 속도, 압력, 힘과 같은 프로세스 매개 변수를 추적하는 실시간 자동 프로세스 모니터링 에셋이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 웨이퍼 서피스를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. Mirra Mesa는 대형 캐스트 베이스, 로봇 취급 장비, 그라인딩 헤드 및 일정, 웨이퍼 전달 시스템 등 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 그라인드 디스크, 랩핑 플레이트 및 연마 패드 세트와 회전 및 컷 깊이에 대한 조정 가능한 매개변수가 포함되어 있습니다. 로봇 처리 장비는 특정 공정 요건에 따라 그라인드 디스크 (Grind Disc), 랩핑 플레이트 (Lapping Plate) 및 연마 패드 (Polishing Pad) 를 조작하는 데 사용됩니다. pucks, diamond tweezer, vacuum pick-up 및 non-contact handling 로봇과 같은 Wafer 전달 시스템은 모델에서 스토리지 트레이로 웨이퍼를 전송하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS Mirra Mesa는 신뢰할 수 있는, 고성능 장치 제조에 중요한, 반복 가능하고 일관성 있고 정확한 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 프로세스 제어 (process control) 및 재인증 (recertification) 기능을 통해 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있으며, 원하지 않은 프로세스 결과가 발생할 경우 신속하게 수정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 쉽게 클리어런스 (clearance) 를 변경하고 다양한 공구를 사용할 수 있습니다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa는 모듈식 설계와 견고한 구성으로 인해 저렴한 비용으로 유지 보수 및 긴 시스템 수명을 제공합니다.
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