판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293627305
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ID: 293627305
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
CMP System, 12"
Copper processing system
(4) Two line peristaltic pumps
(2) Slurry arm left arms
No polishing heads
Wet robot:
Wafer handler
Eject vacuum
Missing parts:
Controller boards
(4) UPA Zone
UPA Rotary union
HCLU
Upper and lower platens
Mega brush
Mega generator and chemical vessels
Brush:
Pressurised vessels
(4) Vessels
Qty / Part number / Description
(1) / - / Megasonic RF Generator
(4) / - / Cleaner mega, brush1 and 2 chemical vessels
(4) / 0010-03697ER / Head sweep motors
(1) / 0010-37905 / i-Scan Endpoint
(2) / 0010-77428 / Assy, teflon coated upper platens
(2) / 0020-77924 / Bearing retainers
(4) / 0020-79068 / AMAT Brackets
(4) / 0021-77866 / Clamp drive spindles
(4) / 0021-77867 / Plate adapter motor spindle flex clamp kits
(1) / 0021-78095 / Manifold-II series valve, UPA Assy
(1) / 0021-78097 / Manifold-I valve, UPA Manifold assy
(1) / 0040-77085 / Lower platen
(4) / 0040-77461 / Spindle assys
(4) / 0090-06473 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-07553 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-77262 / UC Pressure tranducerassys
(4) / 0090-77263 / IC Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77297 / PP Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77298 / RR Pressure transducers -14.7 to 15
(4) / 0100-77043 / Dual slip out sensor boards
(4) / 0140-77491 / Cables, ER-44
(4) / 0140-77492 / Cables, ER-46
(4) / 0140-78202 / Cables, head pneumatic ER-45, UC
(4) / 0140-78203 / Cables, head pneumatic JD-SV43, SV45
(4) / 0140-78204 / Cables, head pneumaticjd SV43, SV43, SV45
(4) / 0140-78205 / Cables, head IC/IT JB-SV-46,47, SV43, SV45
(4) / 0140-78258 / Cables, head pneumatic EC/PP JA-SV-42, SV44
(4) / 0140-78261 / Cables, head pneumatic ER-42, EC/PP
(1) / 0140-03497 / Cables, platen 2 encoder
(4) / 0190-77116 / Flexible disks
(2) / 0240-77490 / Platen motors
(4) / 0760-01037 / CPLG Union rotary 4-port
(3) / 3870-02365 / Valve modules 8-PNEU
(1) / 3870-02366 / Valve module 8-PNEU
(1) / 0010-77157 / Load cup
(4) / 0190-14344R / Head rotation motors
(4) / 0190-14344 / NSK Driver, mega torque, with motor
(2) / 0190-14502 / MEI Motion control boards
(6) / 0190-14372 / DRVR Servopacks AC SGD, Power supply: 200 V, 100 W
(1) / 0190-19549 / Card P-M 1.6GHZ 512MB RAM VME Bus single
(1) / 0190-42525 / Network port server, EL160 (16) Channels, with PWRSP Power supply: 100-250 V AC, 50/60 Hz
(1) / 0100-01793 / PCB Assy, i/o interface board with COM
(3) / 0140-04819 / Cable bulkhead platenisrms
(1) / 0140-75170 / AMAT Head ROT 3 and 4 MP3-DVR 4 and 5
(1) / 0650-01088 / Transmitter
(2) / 0870-01013 / VEXTA Head Sweep drivers, 5-Phase
(4) / 1080-01166 / VEXTA Robot Z-W-S stepping motors, 2-Phase
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Equipment는 정밀도, 반복성 및 처리량이 증가한 고품질 웨이퍼 표면을 제공하기 위해 개발 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 장치는 표면 거칠기와 평탄성을 개선하고 결함을 최소화하도록 설계되었습니다. MA/AT 는 수동/완전 자동 구성으로 제공되며, 사용자의 요구에 따라 유연성과 확장성을 제공합니다. AKT 미라 메사 머신 (Mirra Mesa Machine) 은 일련의 압력 및 연삭 도구를 화학 및 물리적 공정과 함께 사용하여 원하는 웨이퍼 마무리를 달성합니다. 이 도구는 4축 동작을 사용하여 전체 웨이퍼 서피스를 동시에 그라인딩하고 랩핑할 수 있으며, 이는 속도와 효율성을 높이고 비용을 최소화합니다. MA/AT는 또한 연마 물질을 조건화시키고 원치 않는 입자를 제거하기 위해 압축 공기를 사용합니다. AMAT Mirra Mesa Asset은 입자 도량형 기술을 통합하여 프로세스를 개선하여 최적의 결과와 일관성을 보장합니다. 이러한 기술은 연마 물질의 크기, 모양, 경도, 접촉 각도 등 입자의 매개변수를 측정합니다. 이러한 측정을 측정함으로써 MA/AT는 프로세스를 적절히 조정하여 최상의 마무리 및 웨이퍼 품질을 확보할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 모델은 사용자의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있는 모듈식 (modular) 플랫폼을 기반으로 합니다. 다양한 웨이퍼 크기와 두께에 맞게 장비를 구성할 수도 있습니다. 이 시스템은 설치가 용이하며, 유지 보수가 쉽고, 가동 시간을 늘리고, 가동 중지 시간을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 미라 메사 유닛 (Mirra Mesa Unit) 은 또한 먼지가없는 작업 환경을 제공하여 비싼 청소실이 필요하지 않습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Machine은 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구로서 최고 품질의 웨이퍼를 생산하는 속도, 자동화 및 정확성을 높입니다. 고급 입자 도량형 기술, 모듈 식 플랫폼, 유지 보수 편의성을 갖춘 이 제품은 다양한 웨이퍼 (wafer) 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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