판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796
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ID: 9265796
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1998
System, 6"
Box 1:
Type: Through-the-wall
(4) SMIFs
CPU Board type: 400 MHz or Higher
Box 2: Mirra Track
Box 3: Oxide
Box 4: Dry in / Dry out
Box 5:
Signal lamp tower
No Bolt-on SMIF
No integrated SMIF
Box 6:
Cassette tank: Standard
Robot type: 112" Stand alone
Cleaner type: ONTRAK
Spray gun: Single
No In-situ removal rate monitor
No IPM
Box 7:
Polish heads: Titan 1
Rings: AFP
Wafer loss sensor: Dual sensor
Box 8:
Teflon coated platens
Pad type: IC 1000
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner disc: TBW
Universal disk holder
Temperature control: None
Box 9:
Slurry / Platen used
Flow rate: Standard
Dispense arm: Standard
No slurry flow monitors
Box 10:
Nova type: Wet out
No interface monitor
No notch finder
Box 11:
Membrane type: FPDM
4-Port UPA upper
Box 12:
Polish heads: 6" Titan
Grooved retaining rings
Dark pad wafer loss sensor
Box 13:
Pad type: IC 1000
Pad conditioner disc: ABT
Universal disc holder
Box 14:
MESA Cleaner type
On-board mixing
Chemical A: Ammonia Hydroxide
Pressurized delivery type
Precision spray bar
CLC Brush box with on-board mixing
Scrubber 1 and 2:
Brush type: Rippey microclean
Delivery type: Direct feed
Manuals and cables included
Power supply: 208 V, 3 Phase
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 미라 인테그라 (Mirra Integra) 는 와퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 광범위한 연마 매체를 갖춘 부서지기 재료의 고효율 머시닝을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 반도체 및 MEMS 장치 생산을 포함한 다양한 응용 프로그램에 사용됩니다. 이 장치는 베이스 유닛 (base unit) 으로 구성되며, 그라인딩 휠 (grinding wheels) 과 랩핑 플레이트 (lapping plate) 가 있으며, 사용자가 그라인딩 장비를 제어하고 매개변수를 조정하여 원하는 결과를 충족시킬 수 있습니다. AMAT Mirra Integra는 알루미늄 섀시, 스테인리스 스틸 작업 플레이트 및 세라믹 부품으로 강력한 구조를 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS Mirra Integra에 사용 된 연삭 기계는 매우 정확하고 정확합니다. 그라인딩 휠은 전체 재료 표면에서 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 연삭 매체는 판 마모를 줄이고 가공소재의 손상을 최소화하도록 최적화되어 있습니다. 또한, 연삭 매체는 표면 이질 기판을 수용 할 수있다. 미라 인테그라 (Mirra Integra) 의 랩핑 플레이트는 균일 한 연삭 표면을 제공하도록 설계되어 작업 표면에 응력을 균등하게 분배합니다. 이렇게 하면 가공소재의 스트레스가 감소하여 표면 거칠기가 낮아지고, 부품 수명이 향상됩니다. "랩핑 '판 에는 두 개 의 조정 가능" 클램프' 가 장착 되어 있어 특정 한 "애플리케이션 '요구 조건 에 맞도록 조정 할 수 있다. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra의 연마 공정은 화학적 (chemical) 방법과 기계적 (mechanical) 방법을 조합하여 고품질 연마 결과를 얻습니다. 사용 된 연마 매체 는 제어 되고 일관성 있는 마무리 과정 을 수행 할 수 있도록 설계 되어 있으며, 그 결과 는 매우 정확 합니다. AMAT Mirra Integra의 자동 프로세스 제어 시스템 (automated process control machine) 을 사용하면 연삭 장비 매개변수를 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 컨트롤러는 가공소재 표면 거칠기에 대한 피드백을 제공하며, 미리 결정된 임계값을 초과하면 경보를 일으킬 수 있습니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS Mirra Integra는 매우 진보적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구로, 시간의 일부에서 높은 정밀도를 달성하는 데 사용될 수 있습니다.
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