판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9277696

ID: 9277696
빈티지: 2000
CMP System FABS Cassette system Mirra polisher Ontrack cleaner Missing parts: (3) Slip rings Platen 3 lower skin PC3 End effector 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400은 고급 반도체 장치 제조를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 제조업체에 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 (polishing) 를 위한 높은 처리량, 효율성, 안정적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 동기식 및 비동기식 다중 스핀들 (multiple spindle) 구성을 모두 지원하며 다양한 연마물 및 연마 패드를 사용합니다. AMAT Mirra 3400에는 모듈식 아키텍처가 있으며, 각 모듈은 특정 응용 프로그램에 맞게 최적화되었습니다. 기계의 주요 모듈에는 스핀들, 벨트, 펌프 및 웨이퍼 척 어셈블리가 포함됩니다. 스핀들에는 여러 개의 높은 토크 다이렉트 드라이브 모터 (torque direct drive motor) 가 있어 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 정확하게 조정하고 제어할 수 있습니다. 벨트 도구 (Belt Tool) 는 재질에 관계없이 일관된 결과를 보장하기 위해 진동 및 유연성을 줄이기 위해 설계되었습니다. 펌프 에셋 (pump asset) 은 공구 헤드에 냉각제와 연마제를 제공하는 반면, 웨이퍼 척 (wafer chuck) 어셈블리는 웨이퍼에 열과 압력의 균등 한 분포를 유지합니다. APPLIED MATERIALS Mirra 3400은 통합 PC 기반 생산 제어를 통해 고성능 자동화를 제공합니다. 이 통합 PC를 통해 모델의 하드웨어 및 소프트웨어 (프로세스 매개변수 조정, 장비 상태 모니터링, 운영 데이터 수집) 를 제어할 수 있습니다. 또한 다양한 타사 시스템 및 컨트롤과 통합하여 사용자 지정 옵션을 추가로 제공합니다. 이 시스템의 고정밀 서보 모터는 뛰어난 입자 제어 및 동적 프로세스 (dynamic process) 를 제공하며, 완전히 프로그래밍 가능한 프로세스 레시피는 즉각적인 시작 (start-up) 과 향상된 실행 시간을 보장합니다. 또한 미라 3400 (Mirra 3400) 은 소형의 인체 공학적 설계와 견고한 건축을 통해 장기간 반복되는 사용을 위한 손쉬운 유지 관리 및 신뢰성을 보장합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400은 최신 장치 제작의 최고 표준을 충족하도록 설계된, 사용자 정의 가능하고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 즉, 사용자 고급 자동화, 프로그래밍 가능한 레시피, 신뢰성이 뛰어난 플랫폼을 제공하여 지속적인 성능을 보장하며, 매번 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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