판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1 #9114847

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 고급 반도체 연구 및 테스트/생산 응용 프로그램을 용이하게하기 위해 웨이퍼 표면 기하학적 매개변수의 정밀 제어를 제공합니다. 이 시스템은 여러 축을 따라 다양한 동력 운동을 자랑하며, 최대 8 인치 크기의 최종 평면 화 된 웨이퍼 (planarized wafer) 를 생성 할 수 있습니다. AMAT Mirra 3400 Titan 1은 통합 웨이퍼 벨트 유닛과 함께 제공되며, 고정밀 진동 프리 (high-precision vibration-free) 옵티컬 테이블로 설계되었습니다. 이것 은 기계 의 기계적 구성 요소 들 이 도입 한 교란 을 보충 하면서, 정밀 한 운동 을 촉진 하도록 설계 되었다. APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1은 매우 매끄러운 표면 지형 표준을 충족시키기 위해 연마 (polishing) 를 포함한 고정밀 정밀 랩핑 및 연마 프로세스를 지원합니다. 고속, 정밀 동작, 동적 힘 제어 및 뛰어난 프로파일 제어를 위한 브러시리스 (brushless) 서보 모터가 장착되어 있습니다. 임베디드 머신 비전 카메라는 정확한 웨이퍼-웨이퍼 처리를 위해 자동으로 웨이퍼 엣지를 감지합니다. 임베디드 머신 비전 (Embedded Machine Vision) 기능에는 자동 웨이퍼 방향, 센터 식별 및 프로덕션 프로그램 일치를 위한 이상치 웨이퍼 등이 포함됩니다. 공구는 경직된 주조 알루미늄 합금 염기로 구성되며, 온도는 보정되어 자산의 열 안정성을 보장합니다. 이 기능은 또한 표적의 열 전도성 및 향상된 사운드 감쇠를 용이하게합니다. Mirra 3400 Titan 1은 프로세스 매개변수를 모니터링하고 랩핑/연마 속도, 방향, 결과 등을 정확하게 제어 할 수있는 고급 터치 스크린 제어 모델로 구성되어 있습니다. 이 장비는 또한 청소 요구 사항과 다운타임을 최소화하도록 설계되었습니다. 효율적인 웨이퍼 운송, 조작 및 처리를 위해 유압 연마 헤드를 사용합니다. 이 시스템은 열을 분산시키고 공기 오염을 줄이는 온도 배기 후드 (temperature hood) 를 갖추고 있습니다. 또한, 동봉 된 작업실은 여과 및 가압되어 공기 오염 물질의 탈출을 방지합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치의 고급 디자인은 연구 및 생산 응용 프로그램에서 정교하고 효율적인 웨이퍼 표면 처리를 제공합니다. 이것 은 고도 의 "반도체 '처리 에 이상적 인 해결책 으로서, 소음 이나 오염 을 많이 끼치지 않고도" 웨이퍼' 를 정밀 하게 랩핑 하고 연마 할 수 있다.