판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #9295107
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ID: 9295107
웨이퍼 크기: 8"
CMP Cleaner, 8"
Main power box, 12"
Lower electronic:
Mega
System
(2) Brushes
SRD
Mega LDM
Brush module:
Brush bath
Brush OP / Cis Cylinder
Sensor type
Motors
Brush LDM Direct type:
Valves
LDM Box and slide
SRD Module:
SRD Bath
Motor
Megasonic generator
Mega heater
Fan filter unit
Walking beam
Cover door pin and Interlock switch
Other sensors:
Wafer present sensor
Level sensor
Leak sensor
OP Sensor
CLS Sensor
Air fitting:
Lower electronic air tubing assy fitting
Check air fitting
Cables:
Walking beam lower electric cable
Brush lower electric cable
SRD Lower electric cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa 장비는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 제품은 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 프로세스 작업을 정확도가 높고 처리량이 높으며 최고 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 단일 패스에서 여러 가지 연삭, 랩핑, 연마 및 포스트 에치 클리닝 작업을 수행할 수 있습니다. 다양한 형식의 반도체 (semiconductor) 및 태양 광 웨이퍼 (photovoltaic wafer) 를 처리하는 데 이상적입니다. AMAT Mesa 기계는 정밀 공학 알루미늄 프레임에서 다단 자기 김발링을 사용합니다. 따라서 각 테이블이 정확하게 보정되어 일관되고 안정적인 그라인드, 랩핑, 연마 과정이 가능합니다. 이 도구는 로우 프로파일 (Low Profile) 설계를 통해 테이블을 최대한 사용하여 다양한 웨이퍼 (Wafer) 크기를 처리할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Mesa 자산은 그라인딩, 랩핑 및 연마 매개변수의 정확한 설정을 가능하게 하는 컨트롤러를 쉽게 사용할 수 있습니다. Mesa 모델은 또한 향상된 운영자 안전을위한 수많은 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 작동 모니터링을위한 표준 비디오 카메라, 신호 비전 (signal vision) 이 포함되어 있어 오프사이트 위치에서 프로세스를 모니터링할 수 있으며, 안전하지 않은 상태가 감지되면 신호 경고 (signal alert) 가 표시됩니다. 이 장비 는 또한 "테이블 '의 속도 를 제한 하는 기능 과" 랩핑' 과 연마 작업 이 진행 중 일 때 의 "토크 '전송 을 제한 하는 기능 을 가지고 있다. 이렇게 하면 재료가 안전하고 안전하게 처리됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa 시스템은 Z-CT063 (Z-CT063) 이라는 특수 소프트웨어에서 실행되므로 사전 설정된 작업 매개변수를 사용할 수 있으며 매개 변수의 사용자 정의 레시피를 허용합니다. 이렇게 하면 각 작업이 일관되고 정확하게 수행됩니다. AMAT 메사 (AMAT Mesa) 장치에서 사용할 수 있는 다른 고급 (advanced) 기능은 프로세스의 일부로 수행해야 하는 클리닝 양을 줄이는 데 도움이 되는 리버스 클리닝 (reverse cleaning) 기능을 포함하여 프로세스 모니터링과 관련이 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Mesa는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업에 이상적인 솔루션입니다. 최신 디자인, 사용하기 쉬운 컨트롤, 수많은 안전 기능 (safety features) 은 반도체, 태양광 산업에서 탁월한 선택입니다.
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