판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Counter head for Reflexion #293667549

Reflexion Wafer Grinding, Lapping and Polishing Equipment의 AMAT Counterhead는 사용자에게 매우 정확한 고속 연삭, 랩핑 및 웨이퍼 연마 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 카운터 헤드 (Counterhead) 는 프로세스를 효과적으로 안내하고 제어하기 위해 반사 코어 시스템 (Reflexion core machine) 과 함께 사용됩니다. 카운터 헤드 (Counterhead) 어셈블리는 웨이퍼 랩핑, 그라인딩 및 연마 프로세스에 필요한 기능을 제공하기 위해 시스템과 통합된 4 개의 동력 축으로 구성됩니다. 카운터 헤드는 Y축과 X축의 두 가지 주요 동력 축을 사용합니다. Y축 (Y-Axis) 은 장치 프레임에 장착되는 전동식 선형 동작 축입니다. 이렇게 하면 랩핑 작업에 필요한 선형 이동이 용이해집니다. 이 축은 또한 스핀들 (spindle) 을 와퍼 (wafer) 위로 이동하여 연삭 및 연마 공정에 배치합니다. X 축 (X-Axis) 은 스핀들을 조종하고 지원하는 조향 축으로, 미세 연삭 및 연마 작업에 필요한 정밀도를 제공합니다. 카운터 헤드 (Counterhead) 에는 2 개의 주요 동력 축과 함께 사용되는 2 개의 추가 동력 축이 있습니다. 이 두 개의 추가 축을 회전 축 (Rotary Axis) 과 피치 축 (Pitch Axis) 이라고합니다. 회전 축 (Rotary Axis) 은 연삭/연마 스핀들의 연속 회전을 허용하는 동력 회전 동작 축입니다. 이것은 연마 과정에서 웨이퍼 표면의 균일성을 달성하는 데 중요합니다. 피치 축 (Pitch Axis) 은 그라인딩/연마 스핀들의 동작을 테이블 Z축 (Table Z-Axis) 과 레이드 동기화하여 스핀들이 연삭 및 연마 프로세스 동안 항상 웨이퍼 위에 올바르게 배치되도록 합니다. 카운터 헤드는 정밀 제어 컴포넌트를 사용하여 매우 정밀한 연삭 및 연마 작업을 수행합니다. 설계는 웨이퍼 동작, 드라이브 동작 및 테이블 속도를 최적화합니다. 기계 내 모든 동력 축이 정확하게 동기화되어 최고 수준의 성능을 제공합니다 (영문). 또한 카운터헤드 (Counterhead) 는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 연산자가 연삭/연마 프로세스의 매개변수를 쉽게 설정하고 조정하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. Reflexion Wafer Grinding, Lapping 및 Polishing Tool의 APPLIED MATERIALS 카운터 헤드는 Reflexion 에셋의 필수 부분입니다. 정밀한 고속 동력 축을 사용하면 와퍼를 정확하고 정확하게 그라인딩, 랩핑, 연마하여 다양한 응용 분야에 사용할 수 있도록 균일하고 깨끗한 표면을 만들 수 있습니다.