판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9113497

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201은 최대 8 인치 (200mm) 웨이퍼를 처리 할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 "시스템 '은 먼저" 다이아몬드' 연삭 도구 로 "웨이퍼 '를 연삭 한 다음" 다이아몬드 랩' 으로 랩핑 한 다음, 마침내 "다이아몬드 '연마제 로 연마 하여 평평 하고 매끄러운 표면 을 만든다. AMAT CMP 5201에는 로봇 웨이퍼 조작기, 2 개의 미디어 탱크가있는 미디어 캐비닛 및 2 개의 클리닝 시스템이 포함됩니다. 웨이퍼 조작기 (wafer manipulator) 는 자동 및 수동 로딩 모드를 사용할 수있는 완전 조정 가능한 확장 암을 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 위치 지정 및 반복 가능한 작업이 가능합니다. 미디어 캐비닛 은 두 개 의 "탱크 '로 구성 되어 있는데, 이" 탱크' 는 한 쪽 에서 다른 쪽 으로 "웨이퍼 '를 갈아서 랩 하고 연마 하는 데 사용 된다. 탱크에는 작동이 용이하도록 자동 및 수동 컨트롤이 있습니다. 청소 시스템은 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping), 연마 주기 사이에 미디어 탱크를 자동으로 청소하여 가동 중지 시간을 줄입니다. 또한, 이 장치에는 안전 향상 및 환경 영향 감소를위한 대기 질 모니터가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS CMP 5201 (APPLIED MATERIALS CMP 5201) 의 그라인딩 및 랩핑 (grinding and lapping) 프로세스는 한쪽에서 재료를 제거하고 반대쪽을 그대로 두면 웨이퍼 표면을 미세하게 변경하도록 설계되었습니다. 이를 위해, 기계는 다양한 크기와 모양으로 다이아몬드 코팅 그라인딩 휠을 사용합니다. 그라인딩 미디어의 그릿 크기는 원하는 결과에 맞게 수동으로 조정되고 모니터링됩니다. 연삭 과정 이 끝나면 "웨이퍼 '들 이" 랩핑' 되어 표면 "프로파일 '을 더욱 조정 하고 매끄럽고 심지어 끝 까지 마친다. "랩핑 '에 사용 되는" 다이아몬드' 는 연삭 과정 에 사용 되는 "다이아몬드 '보다 작으며, 더 낮은 압력 으로" 웨이퍼' 표면 을 마친다. 마지막으로, 웨이퍼는 느슨한 다이아몬드 연마제로 연마되어 표면을 더 매끄럽게하고 밝고 반사적 인 마무리를 제공합니다. CMP 5201 은 다용도, 견고한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 툴로, 다양한 애플리케이션에 일관된 고품질 결과를 제공합니다. 조정 가능한 로봇 암 (robotic arm), 미디어 탱크 (media tank) 및 클리닝 시스템 (cleaning system) 을 통해 기계를 사용하기 쉽고 안정적으로 장기적으로 사용할 수 있습니다. 또한, 대기 질 모니터는 운영 안전성을 보장하며, 환경에 미치는 영향은 최소화됩니다. 따라서 AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201은 웨이퍼 연마 작업에서 고품질 결과를 달성하기위한 효과적인 도구입니다.