판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9093212

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ID: 9093212
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
Cleaner, 8" Process: PCUDCU SMIF Type. FABS Runs oxide application Mirra polisher Mesa cleaner FABS Cassette system System controller Polisher: MB60a1 Cleaner: CB22p2 Endpoint: IB11h7 CPU: Pentium III 400 MHz Dual RAID hard disk Hard disk size: 68 GB RAM: 128 MB Configurations: Polisher / with controller Mirra 3400 / 5200 Indexer RORZE FABS (3) Foup Slurry (P1+P2+P3) ABCD each Endpoint laser P1: IScan Endpoint laser P2: Full scan Polisher middle skins: Opaque UPA: Standard No chiller Com port server: Digi EL160 Cleaner brush LDM: User modified direct feed LDM With ENTEGRIS flow sensors Walking beam: PEEK Fingers with PP grippers Slurry in CLC Slurry arm 4 lines Polishing head: Titan I Rotary union: 4 ports Cross type: Cattrack Platen teflon coated Pad conditioner type: Universal Retainer ring type: AEP III Membrane type: Center bump PC Diaphragm: Silicon Brush with core type: PP Core Upgrade / CIP Retrofit: LLA Guide pin: Self align Slider motor 200 W PM Reduction kit Queue tub Membrane UPA filter Blackout covers Splash guard Wind tunnel Exhaust blower Magnehelic pressure low level detection kit SRD Exhaust interlock Cassette slot run order (From slot 25 down to 1) 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201은 반도체 어플리케이션에 최고 수준의 성능과 품질을 제공하도록 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 자동 CMP (Automated CMP) 프로세스를 사용하여 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 매우 효과적으로 제어하여 최고 수준의 표면 마무리를 생성합니다. AMAT CMP 5201 (AMAT CMP 5201) 에는 다양한 구성 가능한 매개변수가 포함되어 있어 사용자가 필요에 따라 프로세스를 조정하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 다이아몬드 (diamond-tipped) 연마재 디스크를 사용하여 재료를 정확한 깊이로 정확하게 갈아 넣는 고정밀 고속 연삭 헤드 (high-precision, high-speed grinding head) 가 장착되어 있습니다. 연삭 "헤아드 '에는 또한 연삭 과정 을 더욱 제어 할 수 있는 조정 가능 한" 피치' 가 있다. 연삭 공정은 표면 마무리를 개선하고, 결함을 제거하고, 폐기물을 줄이기 위해 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS CMP 5201에는 웨이퍼를 원하는 마무리 수준으로 다듬기 위한 랩핑 모듈이 장착되어 있습니다. 랩핑 모듈은 다이아몬드 랩핑 화합물 (diamond lapping compounds) 과 연마 패드 (polishing pad) 의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면을 갈아서 연마합니다. 이 과정은 반사도가 높은 표면을 생성하는데, 반도체 응용에서 사용하기에 매우 적합합니다. CMP 5201 은 또한 웨이퍼 (wafer) 모따기 모듈과 통합되어 있으며, 이 모듈은 웨이퍼의 정확한 모따기를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기술은 다이아몬드 팁 블레이드 (diamond-tipped blade) 를 사용하여 웨이퍼 가장자리에 균일하고 일관된 모따기 컷을 생성합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201은 사용자가 특정 프로세스 요구 사항을 충족하도록 시스템을 사용자 정의할 수 있는 완전한 모듈식 설계를 제공합니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 새로운 프로세스 요구 사항을 충족하거나 운영 프로세스의 다른 구성 요소와 통합할 수 있도록 쉽게 공구를 재구성할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT CMP 5201은 반도체 응용 분야에 사용하기 위해 정밀 완성 된 웨이퍼를 생산하기위한 매우 효과적인 자산입니다. 안정적인 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 기술을 결합하면 생산 라인에 사용되고 반도체 성능을 극대화할 수 있습니다.
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