판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9030286

ID: 9030286
빈티지: 2000
CMP system Mirra 3400 AS 2000 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비는 광범위한 반도체 웨이퍼의 연삭 및 연마를 위해 정확하고 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 시간당 최대 200개 (wafer per hour) 의 탁월한 처리량을 제공하며, 매우 정교한 프로세스 제어 장치를 사용합니다. 연삭 (grinding) 및 연마 공정은 완전히 자동화되어 처음부터 끝까지 전체 모니터링됩니다. 이 기계는 프런트엔드 프로세스 챔버 (Front-End Process Chamber), 지원 도구 및 제어 장치 (Control Unit) 로 구성됩니다. 프런트 엔드 챔버 (front-end chamber) 에는 연삭 및 연마 구성 요소가 있으며, 최적의 결과를 위해 정확한 압력 및 온도 조건이 유지됩니다. 지원 자산 (support asset) 은 부드럽고 균일한 마무리에 필요한 일관된 랩핑 및 연마 표면을 제공합니다. AMAT CMP 5201에는 정교한 정밀 프로세스 제어 (precision process control) 기술이 적용되어 여러 웨이퍼 응용 프로그램에서 일관되게 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 모델은 고급 장비 간 인터페이스 (equipment-to-wafer interface) 와 자동화된 결함 인식 및 결함 분석 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 이 시스템에는 통합 기판 냉각 기술 (integrated substrate cooling technology) 이 포함되어 있으므로 전체 연삭 및 연마 과정에서 웨이퍼가 안전한 작동 온도 내에 유지됩니다. APPLIED MATERIALS CMP 5201 은 표준 (Standard) 및 특수 (Specialty) 웨이퍼를 모두 처리할 수 있으며 고급형 품질 보증 표준을 준수하는 균일한 결과를 제공합니다. 이 장치는 5축 웨이퍼 동작 플랫폼 (wafer motion platform) 을 제공하여 뛰어난 유연성과 마무리 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 연삭 및 연마 소모품을 통합하여, 연산자가 필요에 따라 프로세스를 조정하고 사용자 정의할 수 있도록 합니다. CMP 5201 은 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 정확하고 효율적인 연삭 및 연소를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션으로 입증되었습니다. 이 툴은 모든 규모의 운영에 적합하며, 프로세스 견고성과 생산성 (Productivity) 향상과 더불어 유지 관리 작업을 간소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 자산은 업계를 선도하는 여러 전문가들에 의해 테스트, 인증되었으며, 포괄적인 (포괄적인) 무상수리가 지원됩니다.
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