판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / AMJ Mirra 3400 #293620932
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ID: 293620932
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
CMP System, 8"
ISRM
Controller type: 5201
Titan heads: (3) Zones
Inner tube
Membrane
Retaining ring
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AMJ Mirra 3400은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 고유 한 시스템은 정밀 동적 연마, 서피스 레벨링, 열 제어 등의 고급 기술을 사용합니다. 이 단위는 높은 수준의 정확도와 표면 평탄도 (surface flatness) 를 달성하고 한 공정에서 미세한 마무리 (finish) 를 만들 수 있습니다. 이 기계는 매우 평평한 표면을 달성하기 위해 재료를 정확하고 빠르게 제거하는 자동 동적 연마 도구 (automated dynamic polishing tool) 를 갖추고 있습니다. 이 자산에는 다양한 웨이퍼 기판을 효율적으로 처리 할 수있는 초내구성 다이아몬드 연마 휠 (diamond polishing wheel) 이 있습니다. 또한, 연마 과정을 정확하게 측정, 분석 및 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 다양한 고객 요구 사항에 맞게 연마 매개변수를 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 장비는 또한 표면 레벨링, 스텝 그라인딩, 모듈 패턴화 등 고급 랩핑 및 연마 기술을 사용합니다. 이러한 고급 프로세스는 균일하고 균일 한 웨이퍼 마무리를 만듭니다. 또한, 이 시스템은 랩핑 및 연마 과정에서 안정된 온도를 유지하는 데 도움이되는 고정밀 열 제어 장치 (high-precision thermal control unit) 를 사용합니다. 결과적으로, 시스템은 높은 수율 및 처리량으로 일관된 성능을 제공 할 수 있습니다. 이 도구는 고속 생산 처리를 위해 추가로 설계되었습니다. 높은 반복성과 낮은 프로세스 주기를 제공합니다. 이를 통해 자산의 전체 제조 비용이 절감되고 생산 효율성이 향상됩니다 (영문). 또한, 이 모델은 독점 정보 및 고객 데이터를 보호하는 하이엔드 보안 기능을 제공합니다. 전반적으로 AMJ Mirra 3400은 놀라운 수준의 정확성과 반복 성을 제공하는 놀라운 고급 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 및 기타 생산 처리에 이상적이며, 정밀 동적 연마, 표면 레벨링 및 고정밀 열 제어로 연마 프로세스를 사용자 정의하고 제어할 수 있습니다. 또한 하이엔드 보안 (High-End Security) 기능과 고속 (High Speed) 생산 프로세싱을 제공하여 많은 운영 애플리케이션에 적합한 솔루션을 제공합니다.
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