판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / AMJ Mirra 3400 #293606439
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ID: 293606439
빈티지: 2001
CMP System
(4) TITAN, 8"
(3) Chamber carriers
(3) Coated platens, 20"
ISRM enabled, 20"
Peristaltic pumps
(2) Per platen
(4) Wet cassettes, 8"
Wet in wet out capable, 8"
E/P Regulator setup on the cross
Port rotary union
Typical wear and tear
Does not include Nova patterned recognition unit
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AMJ Mirra 3400은 뛰어난 성능, 정확성 및 재생성을 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 최첨단 장비는 전체 프로세스 제어 및 시스템 최적화에 대한 업계 표준을 설정합니다. AMJ Mirra 3400에는 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 모든 자동 (automated) 기능과 컴포넌트가 장착되어 있습니다. 여기에는 고급 동작 제어 장치, 서보 제어 유체 펌프, 실시간 온도 조절, 웨이퍼의 정밀 연삭 및 연마에 대한 독립적 인 압력 및 진공 조절이 포함됩니다. 이 기계는 또한 고도로 반응적인 동적 압력 제어 도구 (Dynamic Pressure Control Tool) 를 갖추고 있어 압력 분배를 자동으로 조정하고 최적화하여 효율성을 높이고 재료 손실을 최소화할 수 있습니다. 이 자산은 단일/양면 연삭, 슬러리 (slurry) 연마 기술 등 다양한 프로세스 구성을 수용할 수 있도록 설계되었습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 백-그라인딩 첨부 (back-grinding attachment) 및 압력 측정 장치 (pressure measurement device) 와 같은 추가 컴포넌트로 모델을 사용자정의할 수 있습니다. 사용자 편의성을 극대화하기 위해 AMAT Mirra 3400은 AMJ TrueView 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 통합되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 직관적인 디스플레이 (Direct Display) 를 통해 실시간으로 연마 프로세스의 설정을 손쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, 장비에는 근접 센서 (근접 센서) 를 포함한 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 이 장착되어 있으며, 연삭 및 연마 작업을 모니터링하고 모든 구성 요소가 작동 중에 고정되어 있는지 확인합니다. 또한 Mirra 3400 에는 인라인 (in-line) 진동 제어 시스템과 기계 결함을 감지하는 음향 모니터링 장치 (acoustic monitoring unit) 가 포함되어 있어 사용자에게 잠재적 인 문제를 경고합니다. 이 AMAT (Full-Featured Tool) 은 정밀 Optic을 위한 오늘날의 고성능 웨이퍼 및 마이크로렌즈 어레이의 생산에 적합합니다. 이 자산은 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 즉, 탁월한 제품 품질, 향상된 프로세스 효율성 및 반복성을 보장합니다.
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