판매용 중고 AMADA SE-52N1 #9395041
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AMADA SE-52N1은 반도체 다이 (die) 에서 광학 안경까지 다양한 재료에서 얇은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 수행하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 2 개의 독립적 인 그라인딩 스핀들 (spindle) 이 포함되어 있으며, 둘 다 동일한 베이스에 장착되어 정확한 XY축 위치 정확도를 달성합니다. 스핀들 어셈블리는 AC 서보 모터 및 구동 스핀들에 의해 구동되며, 최대 50,000 RPM의 속도를 지원할 수 있습니다. 2 차 스핀들은 최대 20 ° 까지 기울어져서 정확한 연삭/연마 표면을 달성 할 수 있습니다. 웨이퍼는 진공 (vacuum) 을 통해 연삭 스핀들 (grinding spindles) 에 대한 정확한 정렬로 유지되며, 최대 60KPa의 청크 압력이 있습니다. 서보 모터 (servomotor) 는 연삭, 랩핑 및 연마 과정에서 스핀들의 정확한 움직임을 제어하는 반면, 연삭 휠 및 랩핑 필름 (lapping film) 은 각각 연삭 및 랩핑 단계에서 사용됩니다. 정밀 연삭/연마 과정 은 진공 밀봉 염기 와 "필터 '를 갖춘 챔버' 에서 수행 되는데, 이" 필터 '는 깨끗 한 수술 을 보장 하고 가공 하는 동안 오염 물질 을 "챔버' 로 끌어들이지 않도록 한다. 자동 급지대는 컴퓨터화된 컨트롤러 (Computerized Controller) 에 의해 제어되므로 장치가 연삭 (Grind), 방사형 그라인드 (Radial Grind) 및 그루브 (Grooving) 를 빠르고 정확하게 끝낼 수 있습니다. 기계에는 자동 벨트 텐셔너 (Automatic Belt Tensioner) 가 장착되어 있어 연마 벨트가 항상 최적의 연삭 성능에 최적 (Optimal Tension) 인 것을 보장합니다. 웨이퍼 방향 도구는 반복 가능한 얇은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 결과를 제공합니다. 자산은 또한 금속, 절연체, 플라스틱 및 합성물을 포함한 다양한 기판을 연마 할 수 있습니다. 전반적으로 SE-52N1은 고도로 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 모델이며, 매우 정밀하게 여러 재료의 얇은 웨이퍼를 연마, 랩핑, 연마 할 수 있습니다. 이 장비는 높은 수준의 정확도, 반복성, 그리고 웨이퍼를 신속하게 처리할 수 있는 기능을 제공하여 탁월한 성능, 생산량 (production throughput) 을 제공합니다.
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