판매용 중고 ALPSITEC MECAPOL E550 #9240664
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9240664
웨이퍼 크기: 6"
CMP System, 6"
Rack:
Wafer diameter: < 200 mm
Rotation speed: 15-150 RPM
Rear pressure: 0-100 kPa
Polishing force: 0-3000 N (14 psi on 8")
Horizontal displacement: Adjustable amplitude
Main load tray:
Diameter: 550 mm
Rotation speed: 15-150 RPM
Temperature: 10°C - 60°C
Secondary tray:
Diameter: 350 mm
Rotation speed: 20-200 RPM
Conditioner:
Force: 10-300 N
Diameter: 100mm, 238 mm
Rotation speed: 10-70 RPM
Final conditioner:
Linear brush: 22 mm x 100 mm
Facilities:
Pressurized air: 6-7 bars
Head motor: 0.75 kW
Engine tray: 2.2 kW
Conditioner engine: 0.37 kW
Consumption:
Water-DI: 200 L/hr
Pressurized air: 220 L/min
Electricity: 5 kW
Air gap: Internal pump
Power: 220-380 V, 50-60 Hz, 3 Phase.
ALPSITEC MECAPOL E550은 뛰어난 표면 마감으로 고품질, 고수율 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 특허를받은 "자기 정렬" 수직 연삭 원리를 특징으로하며 0.5m 거칠기 평균 (RA) 및 최대 10jm 표면 평탄도로 최대 250mm의 대형 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. MECAPOL E550은 3 개의 독립적 인 그라인딩 스핀들 (spindle) 을 갖춘 매우 효율적인 실리콘 그라인딩 및 랩핑 기술을 제공하여 고정밀도 및 반복 가능한 그라인딩 결과를 제공합니다. ALPSITEC MECAPOL E550에는 효율적이고 안전한 작동을 위해 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 배치 (batch) 또는 완전 자동화 (fully automated) 처리를 위해 설계되었으며 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 이 도구에는 그라인딩 매개변수의 정확한 측정 및 조정이 가능한 2 차원 자동 초점 카메라가 장착되어 있습니다. 또한, E550 은 널리 사용되는 모든 고속 시스템과 호환되므로 기존 운영 프로세스에 원활하게 통합할 수 있습니다. MECAPOL E550에는 머신 매개변수 및 레시피 로딩을 쉽게 설정하고 조정할 수 있도록 디지털 LCD 터치 스크린이 장착될 수도 있습니다. 에셋은 또한 각 배치의 연삭 시간과 출력을 모니터링하는 내장 부품 카운터 (Part Counter) 및 스로틀 센서 (Throttle Sensor) 를 갖추고 있습니다. 고정밀도 진동 격리 (high-precision vbration isolation) 모델은 과도한 진동 및 교란으로 인한 오류 가능성을 최소화하기 위해 장착됩니다. ALPSITEC MECAPOL E550은 뛰어난 표면 마무리를 통해 고품질의 고수율 웨이퍼를 제공합니다. 고급 연삭, 랩핑 및 연마 기술을 특징으로하는이 장비는 0.5 mm RA와 최대 10 mm 표면 평탄도로 최대 250mm의 대형 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 fail-safe 모니터링 시스템과 사용자 친화적 LCD 터치스크린 컨트롤이 장착되어 있어 작동 및 설치가 간편합니다. MECAPOL E550은 생산률과 신뢰성, 반복 가능한 결과를 바탕으로 대형 웨이퍼를 연삭, 랩핑, 연마 할 수있는 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다