판매용 중고 ACCRETECH / TSK TS-6W-R #9223099

ACCRETECH/TSK TS-6W-R은 단기간에 높은 정밀 결과를 얻기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 매개변수를 조정함으로써 표면 거칠기 (0.1 µm 이하) 로 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 랩핑 플레이트 사이의 최적 평탄성으로 인해이 유닛에 의해 달성 된 레이어 간섭 평탄도 (layer-interference flatness) 는 ± 0.01 äm입니다. TSK TS-6W-R은 실리콘에서 질화 갈륨 (GaN) 에 이르기까지 광범위한 재료를 처리 할 수있는 6 인치 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 공정 은 "온도 '와 공기 환경 을 조절 한 청결 한 방 에서 완성 되며, 이것 은 오염 가능성 을 최소화 한다. 편리한 터치스크린 패널을 통해 연산자는 필요에 따라 그라인딩, 랩핑, 연마 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 2 개의 마찰 형 스핀들 드라이브 (spindle drive) 와 2 개의 스핀들 가이드 플레이트 (spindle guide plate) 가 장착되어 있어 로봇 팔의 수평 이동을 제어합니다. 이렇게 하면 "와퍼 '를" 와퍼' 를 갈아서 잠그기 위하여 "와퍼 '를 평평 하게 유지 하면서" 로봇' 을 움직 일 수 있다. 에셋에는 고해상도 카메라가 장착되어 있어 연산자가 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 과정에서 웨이퍼 진행 상황을 볼 수 있습니다. ACCRETECH TS-6W-R 모델에는 웨이퍼의 표면 거칠기를 계산하는 직접 피드백 센서와 웨이퍼 표면의 이산 점에서 거칠음을 측정 할 수있는 RMU (Roughness Measuring Unit) 가 포함되어 있습니다. 이 장비 에는 또한 "그라인딩 '과정 에서 모든 먼지 를 수집 함 으로써 환경 을 깨끗 하게 유지 하는 독특 한 먼지 수집 장치 가 포함 된다. TS-6W-R 장치는 주파수 드라이브가 장착 된 3 상 AC 모터 및 3 상 AC 모터로 구동되어 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스가 일관되게 실행됩니다. 이 기계는 다양한 유형의 재료 처리 (material processing) 요구 사항을 충족하도록 연삭, 랩핑 및 연마 매개변수를 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다. 결론적으로 ACCRETECH/TSK TS-6W-R은 다목적 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 그것 은 광범위 한 재료 를 가공 할 수 있으며, 고해상도 "카메라 '와 환경 을 깨끗 하게 유지 하는 데 도움 이 되는 먼지 수집" 에셋' 을 가지고 있다. 이 모델은 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 매개변수를 쉽게 조정하여 단시간 내에 고정밀도 (high-precision) 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다.