판매용 중고 ACCRETECH / TSK PG 3000 RM #9397446

ACCRETECH/TSK PG 3000 RM은 다양한 실리콘 및 화합물 반도체 재료에서 일관되게 고품질 표면 마무리를 생성하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 혁신적인 공기 베어링 스핀들 그라인딩 (spindle grinding) 메커니즘을 사용하여 우수한 그라인딩 결과를 제공하는 반면, 랩핑 플래튼 (lapping platen) 은 웨이퍼 전체 표면에 짝수 랩을 보장합니다. 그런 다음 RCM 연마 헤드 (RCM polishing heads) 는 긴 그라인드 랩-폴리스 사이클 (grind-lap-polish cycle) 후에도 랩된 서피스의 균일성을 유지하면서 원하는 표면 마무리를 더욱 구체화합니다. 또한, 이 단위는 스크래치 (scratch) 와 딩스 (dings) 제거, 버핑 (buffing) 및 마지막으로 연마 (polishing) 와 같은 다양한 정도의 광택을 얻기 위해 다양한 연마 슬러리 솔루션과 결합 할 수있는 능력이 독특합니다. 우수한 연삭 결과를 위해, TSK PG 3000 RM은 공기 베어링에 장착 된 정밀 스핀들 모터를 사용하여 매우 부드럽고 일관된 연삭 동작을 보장합니다. 또한, 고급 다이아몬드 휠 트루잉 (advanced diamond wheel truing) 및 거친 그라인딩 기능을 통해 출력의 품질과 균일성을 더욱 향상시킵니다. 또한, 이 기계는 랩핑 및 연마 헤드 스피드 컨트롤을 특징으로하며, 프라임 웨이퍼 (prime wafer) 와 비 프라임 웨이퍼 (non-prime wafer) 모두에서 뛰어난 표면 마무리 품질을 제공합니다. 더욱이, 이 도구의 수냉식 연마 헤드는 안정적이고 안전한 작동을 보장하는 반면, 독특한 연마 휠 헤드 (polishing wheel head) 디자인은 왜곡이나 손상을 입히지 않고 휠을 웨이퍼와 최적의 접촉하도록 보장합니다. ACCRETECH PG 3000 RM의 고급 기능 세트를 통해 운영자는 요구 사항 및 요구 사항에 따라 연삭, 랩핑, 연마 주기를 사용자 정의할 수 있습니다. 예를 들어, 에셋에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 연삭, 랩핑, 연마 주기의 다양한 매개변수를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 지능형 진단 장비 (Diagnostic Equipment) 를 사용하여 모델의 성능을 실시간으로 모니터링할 수도 있습니다. 이 시스템의 다른 기능으로는 스핀들 베어링 웨어 모니터 (spindle bearing wear monitor), 전력 효율 모니터, 온도 모니터 등이 있습니다. 또한, 이 장치에는 다양한 도구가 제공되며, 이 도구는 평가에 사용할 수 있으며, 최적의 결과를 위한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 설정하는 데 사용됩니다. 전반적으로, PG 3000 RM은 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 다양한 반도체 재료에서 일관되고 고품질 표면 마무리를 달성하기 위해 특별히 설계되었습니다. 고급 기능 덕분에 운영자가 원하는 출력을 빠르고 효율적으로 달성할 수 있습니다 (영문).