판매용 중고 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9200072
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ID: 9200072
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Wafer backside grinder, 12"
P75 Slurry
OMEGA VUT600-1006-A Vacuum pump
ADVANCE WAVE VSP-32100S Voltage Sag Protector (VSP)
Hand-1 unit
Air dryer
Chiller
UV Unit
2005 vintage.
ACCRETECH/TSK PG 300 RM은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비로, 시스템 내 웨이퍼에서 평평하고, 매끄럽고, 매우 정확한 표면 마무리를 수행하기 위해 다양한 도구와 프로세스를 사용합니다. 이 장치에는 3 단계 회전 정밀 플래텐이 장착되어 있으며, 각 플래텐에는 별도의 속도 및 스트로크 조절기가 장착되어 있습니다. 이 플래텐은 각각 기계 내에서 독특한 목적으로 사용됩니다. 첫 번째 "플래튼 '은" 웨이퍼' 에서 굴 과 융기 를 제거 하는 데 도움 이 되는 저속, 저진폭 "그라인딩 '단계 이다. 두 번째 "플래튼 '은 더 높은 속도 를 사용 하며, 더 높은 진폭 을 지닌" 웨이퍼' 를 더 높은 정도 로 갈아서 더 부드럽고, 더 높은 수준 의 표면 마무리 를 만들 수 있다. 세 번째 플래튼 (platen) 은 랩핑 및 연마 단계이며, 웨이퍼에서 거울과 같은 마무리를 만들 수 있습니다. 이 "플래튼 '은" 웨이퍼' 를 연마 하기 위하여 화합물 이나 윤활제 및 연마제 입자 의 조합 을 사용 한다. TSK PG300RM은 속도, 획, 압력 등 프로세스 매개 변수에 프로그래밍 가능한 제어 도구를 사용합니다. 또한, 자산에는 자동 웨이퍼 처리 (Automatic Wafer Handling) 모델이 장착되어 있어 수동 개입 없이 빠르고 효율적인 웨이퍼 로드 및 언로드가 가능합니다. "플래튼 '베이스 의" 센서' 는 필요 하다면 연삭 과정 을 위한 "웨이퍼 '를 누르고 조이고 방출 하는 데 도움 이 된다. ACCRETECH PG 300RM (ACCRETECH PG 300RM) 은 또한 유지 보수 또는 수리 기간 동안 장비 수명을 연장하고 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계된 다양한 안전/유지 보수 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 자동 정지 기능, 먼지 방지 실드 및 비상 정지 버튼이 포함됩니다. 또한, 경보 및 냉각 팬이 있는 온도 모니터링 시스템 (temperature monitoring system) 을 사용하여 장치가 온도 제한 내에서 작동하는지 확인할 수 있습니다. 결론적으로 PG 300RM은 다재다능하고 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 프로그래밍 가능한 제어 도구, 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 및 안전 (safety) 기능을 통해 일관성 있고 고품질 결과와 함께 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다.
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